Invention Application
WO2013176336A1 플라즈마를 이용한 금속 배선이 함몰된 유연 기판의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 유연 기판
审中-公开
通过使用等离子体制造金属接线的柔性基板的方法和使用该方法制造的柔性基板
- Patent Title: 플라즈마를 이용한 금속 배선이 함몰된 유연 기판의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 유연 기판
- Patent Title (English): Method of manufacturing flexible substrate having metal wiring by using plasma and flexible substrate manufactured by using the method
- Patent Title (中): 通过使用等离子体制造金属接线的柔性基板的方法和使用该方法制造的柔性基板
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Application No.: PCT/KR2012/006053Application Date: 2012-07-30
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Publication No.: WO2013176336A1Publication Date: 2013-11-28
- Inventor: 강재욱 , 김도근 , 김종국 , 정성훈 , 이승훈
- Applicant: 한국기계연구원 , 강재욱 , 김도근 , 김종국 , 정성훈 , 이승훈
- Applicant Address: 305-343 대전시 유성구 장동 171번지, Daejeon KR
- Assignee: 한국기계연구원,강재욱,김도근,김종국,정성훈,이승훈
- Current Assignee: 한국기계연구원,강재욱,김도근,김종국,정성훈,이승훈
- Current Assignee Address: 305-343 대전시 유성구 장동 171번지, Daejeon KR
- Agency: 이원희
- Priority: KR10-2012-0053626 20120521
- Main IPC: H05K1/02
- IPC: H05K1/02 ; H05K3/20 ; H05K3/46
Abstract:
본 발명은 플라즈마를 이용한 금속 배선이 함몰된 유연 기판의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 유연 기판에 관한 것으로, 상세하게는 기판 표면에 플라즈마를 조사하여 기판을 전처리하는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서 전처리된 기판상에 금속 배선을 형성시키는 단계(단계 2); 상기 단계 2에서 금속 배선이 형성된 기판 상부에 경화성 고분자를 코팅하고 경화시켜 금속 배선이 함몰된 고분자 층을 제조하는 단계(단계 3); 및 상기 단계 3에서 제조된 고분자 층을 단계 1의 기판과 분리시키는 단계(단계 4);를 포함하는 플라즈마를 이용한 금속 배선이 함몰된 유연 기판 의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 플라즈마를 이용한 금속 배선이 함몰된 유연 기판의 제조방법은 금속 배선을 유연기판 내부에 삽입된 형태로 형성시킬 수 있으며, 금속 배선의 높이에 제한되지 않고 낮은 저항의 배선을 형성시킬 수 있다. 또한, 기판 표면을 플라즈마 처리함에 따라 상기 기판으로부터 금속배선이 함몰된 유연기판을 깨끗하게 박리시킬 수 있다. 나아가, 상기 플라즈마 처리를 통해 기판 표면의 불순물을 제거할 수 있으며, 별도의 공정없이 물리적인 힘을 가하여 상기 기판으로부터 금속배선이 함몰된 유연기판을 쉽게 제거할 수 있다.
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