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WO2014021141A1 ボンディング装置 审中-公开
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ボンディング装置
Abstract:
圧電素子が駆動する負荷の軽量小型化が図れ、また、圧電素子に対するワークからの熱の影響を減らすことが可能なボンディング装置を提供すること。 ボンディングツール8の中心軸に対向する受け部6cを有するボンディングアーム5と、ボンディングツール8に接する一対のキャピラリ保持部9、10と、キャピラリ保持部9、10に接して超音波振動を発生する一対の圧電素子11、12と、ボンディングアームの受け部に対向して配置される加圧体18と、加圧体をボンディングアームの受け部に向けて移動させる移動手段から構成される加圧手段と、を有し、ボンディングアームの受け部と加圧体との間に、一対の圧電素子、一対のキャピラリ保持部及びボンディングツールを位置させた状態で、加圧体を移動させることにより、一対のキャピラリ保持部及びボンディングツールをボンディングアームに保持させるようにする。
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