VERBINDUNG VON BAUTEILEN
    2.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2021185618A1

    公开(公告)日:2021-09-23

    申请号:PCT/EP2021/055802

    申请日:2021-03-08

    Applicant: NANOWIRED GMBH

    Abstract: Ein Verbindungselement (6) zum Verbinden eines ersten Bauteils (2) mit einem zweiten Bauteil (3) weist auf einer ersten Verbindungsfläche (7) an einer ersten Seite (10) des Verbindungselements (6) und auf einer zweiten Verbindungsfläche (8) an einer der ersten Seite (10) gegenüberliegenden zweiten Seite (11) des Verbindungselements (6) jeweils eine Vielzahl von Nanodrähten (1) auf, wobei die erste Verbindungsfläche (7) und die zweite Verbindungsfläche (8) elektrisch voneinander isoliert sind. Ein Verfahren zum Verbinden eines ersten Bauteils (2) mit einem zweiten Bauteil (3) umfasst: a) Bereitstellen des Verbindungselements (6), b) Zusammenführen einer Kontaktfläche (4) des ersten Bauteils (2) mit der ersten Verbindungsfläche (7) des Verbindungselements (6), und c) Zusammenführen einer Kontaktfläche (5) des zweiten Bauteils (3) mit der zweiten Verbindungsfläche (8) des Verbindungselements (6). Schritt b) und/oder Schritt c) können bei Raumtemperatur durchgeführt werden. Das Verfahren kann weiterhin umfassen: d) Erwärmen zumindest der Kontaktflächen (4, 5) auf eine Temperatur von mindestens 90°C. In Schritt b) und/oder c) kann mit Ultraschall auf das Verbindungselement (6), auf das erste Bauteil (2) und/oder auf das zweite Bauteil (3) eingewirkt werden. Das Verbindungselement (6) kann weiterhin eine jeweilige Vielzahl von Nanodrähten (1) auf einer dritten Verbindungsfläche (20) an der ersten Seite (10) des Verbindungselements (6) und auf einer vierten Verbindungsfläche (21) an der zweiten Seite (11) des Verbindungselements (6) haben, wobei die dritte Verbindungsfläche (20) und die vierte Verbindungsfläche (21) elektrisch leitend miteinander verbunden sind, und wobei das Verfahren weiterhin die folgenden Schritte umfasst: b') Zusammenführen einer Kontaktfläche (18) eines dritten Bauteils (16) mit der dritten Verbindungsfläche (20) des Verbindungselements (6), und c') Zusammenführen einer Kontaktfläche (19) eines vierten Bauteils (17) mit der vierten Verbindungsfläche (21) des Verbindungselements (6). Das Verbindungselement (6) kann folienartig ausgebildet sein. Das Verbindungselement (6) kann im Bereich zwischen der ersten Verbindungsfläche (7) und der zweiten Verbindungsfläche (8) aus einem Keramikmaterial gebildet sein. Eine Anordnung (12) kann umfassen: ein erstes Bauteil (2), ein erstes Verbindungselement (6), ein Funktionselement (13), ein zweites Verbindungselement (14) und ein zweites Bauteil (3), wobei das Funktionselement (13) einer oder mehrerer der folgenden Funktionen: Ableitung von Wärme, Dämmung von Vibrationen, mechanisches Stabilisieren dient. Alternativ umfasst ein Verfahren zum Verbinden einer ersten Kontaktfläche (2) mit einer zweiten Kontaktfläche (3): a) Bereitstellen eines Verbindungselements (6) mit einer Vielzahl von Nanodrähten (1) auf einer ersten Verbindungsfläche (7) und auf einer zweiten Verbindungsfläche (8), wobei die erste Verbindungsfläche (7) und die zweite Verbindungsfläche (8) auf der gleichen Seite des Verbindungselements (6) angeordnet sind, b) Zusammenführen der ersten Kontaktfläche (2) mit der ersten Verbindungsfläche (7) des Verbindungselements (6), und c) Zusammenführen der zweiten Kontaktfläche (3) mit der zweiten Verbindungsfläche (8) des Verbindungselements (6). Die Nanodrähte (1) können vermittels einer Schicht (11) mit dem Verbindungselement (6) in Verbindung stehen, wobei die Schicht (11) durchgehend zwischen der ersten Verbindungsfläche (7) und der zweiten Verbindungsfläche (8) ausgebildet ist und elektrisch und thermisch leitfähig ist. Die Breite der Schicht (11) kann sich kontinuierlich verringern. Das Verbindungselement (6) kann auch vier Streifen der Schicht (11) umfassen, die unterschiedliche Längen haben. Das Verbindungselement (6) kann in Schritt a) durch Abtrennen von einem Ausgangskörper (12) gebildet werden. Die erste Verbindungsfläche (7) kann von der zweiten Verbindungsfläche (8) beabstandet angeordnet sein. Die erste Kontaktfläche (2) und die zweite Kontaktfläche (3) können durch das Verbindungselement (6) elektrisch leitend, thermisch leitend und/oder mechanisch miteinander verbunden sein. Die erste Kontaktfläche (2) und die zweite Kontaktfläche (3) können am gleichen Bauteil (10) oder an verschiedenen Bauteilen (10, 13) angeordnet sein, wobei die beiden Bauteile (10, 13) können nicht parallel zueinander angeordnet sein, beispielhaft können die beiden Bauteile einen Winkel von 90° miteinander einschließen. Bei den zwei Bauteilen (2, 3, 10, 13) kann es sich um ein elektronisches Bauteil bzw. um zwei elektronische Bauteile wie beispielsweise Halbleiterbauelemente, Computerchips, Mikroprozessoren oder Platinen handeln. Es ist auch möglich, ein Bauteil wie einen Sensor (als das erste Bauteil (2)) an einer Wand oder Halterung (als dem zweiten Bauteil (3)) zu montieren.

    超音波接合装置、超音波接合検査方法および超音波接合部の製造方法

    公开(公告)号:WO2018143410A1

    公开(公告)日:2018-08-09

    申请号:PCT/JP2018/003605

    申请日:2018-02-02

    Abstract: 超音波接合装置(50)は、治具(24)に固定された被固定物(1)に実装された被接合部材(10)に、接合部材(4、5)を押圧しながら超音波を印加する超音波ツール(21)を有する超音波接合機(20)と、被接合部材(10)と接合部材(4、5)との接合品質を検査する接合検査装置(30)とを備える。接合検査装置(30)は、治具(24)または治具(24)が搭載された超音波接合機(20)の筐体(28)における振動を検出して、検出信号(sig1)を出力する接合状態測定装置(31)と、被接合部材(10)と接合部材(4、5)との接合工程において、接合状態測定装置(31)により出力された検出信号(sig1)に基づいて、被接合部材(10)と接合部材(4、5)との接合状態を判定する接合状態判定装置(32)とを備える。

    半導体装置および電力変換装置
    5.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2018135465A1

    公开(公告)日:2018-07-26

    申请号:PCT/JP2018/000957

    申请日:2018-01-16

    Abstract: 回路基板を備える電力用半導体装置において、その平面積の増加を抑制することが可能な半導体装置、およびそのような半導体装置を有する電力変換装置を提供する。半導体装置(101)は、回路基板(1)と、パワー半導体素子(3)と、絶縁性ブロック(5)と、制御信号端子(7)と、第1の主端子(9a)と、第2の主端子(9b)とを備える。パワー半導体素子(3)は回路基板(1)の一方の主表面上に接合される。絶縁性ブロック(5)はパワー半導体素子(3)を囲うように配置され、パワー半導体素子(3)の真上が開口部(5c)となっている。制御信号端子(7)は絶縁性ブロック(5)内に挿入されるように絶縁性ブロック(5)に固定され、屈曲部(7t)を含み、屈曲部(7t)は絶縁性ブロック(5)からパワー半導体素子(3)上に部分的に突出し、パワー半導体素子(3)と接合される。第1の主端子(9a)は制御信号端子(7)が接合されたパワー半導体素子(3a)と同一のパワー半導体素子(3a)に接合される。第2の主端子(9b)は回路基板(1)に接合される。

    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM VERBINDEN EINES DRAHTES
    6.
    发明申请
    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM VERBINDEN EINES DRAHTES 审中-公开
    方法和设备,用于连接线

    公开(公告)号:WO2016070211A1

    公开(公告)日:2016-05-12

    申请号:PCT/AT2015/050274

    申请日:2015-10-29

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Drahtbondingverfahren zum Herstellen einer elektrischen Verbindung zwischen einem ersten Bondkörper (210) mit einer ersten zu kontaktierenden Bondfläche (211) und einem zweiten Bondkörper (220) mit einer zweiten zu kontaktierenden Bondfläche (221), wobei die ersten und zweiten Bondflächen unterschiedliche Neigungen aufweisen, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: (a) Bereitstellen eines Drahtbondingkopfs (200) mit zwei unterschiedlich geneigten Anpressflächen (201, 202) und einer Zuführung (207) für einen Bonddraht (203), wobei die Neigung der ersten Anpressfläche (201) im Wesentlichen der Neigung der ersten Bondfläche (211) entspricht und wobei die Neigung der zweiten Anpressfläche (202) im Wesentlichen der Neigung der zweiten Bondfläche (221) entspricht, (b) Herstellen einer ersten Bondverbindung zwischen dem Bonddraht (203) und dem ersten Bondkörper (210), wobei der Draht (203) mittels der ersten Anpressfläche (201) des Drahtbondingkopfs (200) durch Ultraschallbonding mit der ersten Bondfläche (211) verbunden wird, und (c) Herstellen einer zweiten Bondverbindung zwischen dem Draht (203) und dem zweiten Bondkörper (220), wobei der Draht (203) mittels der zweiten Anpressfläche (202) des Drahtbondingkopfs (200) durch Ultraschallbonding mit der zweiten Bondfläche (221) verbunden wird. Die Erfindung betrifft ferner einen Drahtbondingkopf (200) zur Durchführung des Verfahrens.

    Abstract translation: 本发明涉及一种引线接合方法用于使第一接合主体(210)之间的电连接,其具有第一待接触接合表面(211)和具有第二的第二接合体(220)被接触键合表面(221),其中,所述第一和第二接合区域中的不同 具有倾斜,所述方法包括以下步骤:(a)用于一个键合线(203),提供了一个Drahtbondingkopfs(200)具有两个不同倾斜加压面(201,202)和一个进料器(207),其中所述第一接触面的倾斜( 201)基本上到第一接合表面(211)相对应的倾斜,并且其中,所述第二接触表面(202)基本上的倾斜到第二接合表面(221)等于的倾斜,(b)形成的接合线(203)和所述之间的第一键 键第一主体(210),其中,由Drahtbon的第一接触表面(201)的线(203) 丁头(200)通过超声接合而连接到所述第一接合表面(211),和(c)制备的金属丝(203)和所述第二接合体(220)之间的第二键,其中由所述第二接触表面的装置中的金属丝(203)(202 )所述Drahtbondingkopfs(200)通过超声波接合到第二接合表面(221)中的一个连接。 本发明还涉及一种Drahtbondingkopf(200),用于执行该方法。

    ボンディング装置
    7.
    发明申请
    ボンディング装置 审中-公开
    绑定设备

    公开(公告)号:WO2014021141A1

    公开(公告)日:2014-02-06

    申请号:PCT/JP2013/069909

    申请日:2013-07-23

    Inventor: 高波 修一

    Abstract: 圧電素子が駆動する負荷の軽量小型化が図れ、また、圧電素子に対するワークからの熱の影響を減らすことが可能なボンディング装置を提供すること。 ボンディングツール8の中心軸に対向する受け部6cを有するボンディングアーム5と、ボンディングツール8に接する一対のキャピラリ保持部9、10と、キャピラリ保持部9、10に接して超音波振動を発生する一対の圧電素子11、12と、ボンディングアームの受け部に対向して配置される加圧体18と、加圧体をボンディングアームの受け部に向けて移動させる移動手段から構成される加圧手段と、を有し、ボンディングアームの受け部と加圧体との間に、一対の圧電素子、一対のキャピラリ保持部及びボンディングツールを位置させた状態で、加圧体を移動させることにより、一対のキャピラリ保持部及びボンディングツールをボンディングアームに保持させるようにする。

    Abstract translation: 提供了一种能够使由压电元件驱动的负载轻量化并且能够减少来自工件的热量对压电元件的冲击的接合装置。 该接合装置具有:接合臂(5),其具有面向接合工具(8)的中心轴线的接收部(6c)。 与所述接合工具(8)接触的一对毛细管支撑部分(9,10); 与所述毛细管支撑部分(9,10)接触并产生超声波振动的一对压电元件(11,12); 以及按照与接合臂的接收部对置的按压体(18)和将按压体向接合臂的接收部移动的移动机构构成的按压机构。 利用一对压电元件,一对毛细管支撑部分和接合工具位于接合臂的接收部分和按压体之间,使粘合臂保持一对毛细管支撑部分和接合工具 通过移动按压体。

    電子部品の表面実装方法及び電子部品が実装された基板
    9.
    发明申请
    電子部品の表面実装方法及び電子部品が実装された基板 审中-公开
    表面安装电子元件的方法以及安装有电子元件的基板

    公开(公告)号:WO2012032840A1

    公开(公告)日:2012-03-15

    申请号:PCT/JP2011/065485

    申请日:2011-07-06

    Inventor: 川井若浩

    Abstract:  はんだ材を用いることなく、接合界面のクラックの発生の抑制を図ることのできる電子部品の表面実装方法及び電子部品が実装された基板を提供する。 絶縁性基材10上に、導電性回路21と、導電性回路21の表面側に形成される熱可塑性樹脂で構成されるレジスト30とを設ける工程と、電子部品40の電極41の表面に金属層50を設ける工程と、電子部品40の金属層50を、レジスト30に押し当てながら、金属層50の表面に略平行な方向に振動する超音波振動による負荷を与えることで、レジスト30を溶融により部分的に除去させて金属層50と導電性回路21とを接合させ、その後、超音波振動による負荷をなくして、溶融した熱可塑性樹脂を冷却により硬化させる工程と、を備える電子部品40の表面実装方法であって、金属層50は、そのせん断強度が導電性回路21を構成する材料のせん断強度よりも低い材料からなる薄い層で構成される。

    Abstract translation: 提供一种用于表面安装电子部件的方法,其中不使用焊料材料,并且可以抑制接合界面中的裂纹的产生,以及安装有电子部件的基板。 一种用于表面安装电子部件(40)的方法具有:在绝缘基材(10)上设置导电电路(21)和形成在前表面上的抗蚀剂(30)的步骤 的导电电路(21),由热塑性树脂构成; 提供电子部件(40)的电极(41)的表面的金属层(50)的步骤; 以及通过施加由振动产生的超声波振动产生的负荷来使抗蚀剂熔融而部分除去抗蚀剂(30),将电子部件(40)的金属层(50)与导电电路(21) 在大致平行于金属层(50)的表面的方向上,同时将金属层(50)压到抗蚀剂(30)上,然后停止施加由超声波振动产生的载荷,并使熔融的热塑性塑料 树脂通过冷却树脂。 金属层(50)由具有比构成导电电路(21)的材料的剪切强度低的材料构成的薄层构成。

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