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阻变存储器及其制备方法
Abstract:
公开了一种阻变存储器及其制备方法。阻变存储器包括:底电极(11)、阻变层(12)、顶电极(14),阻变层(12)位于底电极(11)之上;顶电极(14)位于阻变层(12)之上;底电极(11)之上设置有导电突起(13),导电突起(13)嵌在阻变层(12)内,且导电突起(13)顶部宽度小于底部宽度。还公开了一种阻变存储器的制备方法。这里所提供的阻变存储器及其制备方法,通过在底电极上设置导电突起,可以产生"避雷针"效应,使得阻变层中电场集中分布在导电突起的附近,极大的增加了导电细丝在导电突起处生成的概率,使导电细丝的生成不再是随机的,确保了阻变存储器中各个参数的稳定性,从而大大提高了阻变存储器工作的可靠性和稳定性。
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