가스 혼합 장치가 개시된다. 본 발명은, 제1 가스가 공급되며, 제1 가스의 유량을 제어하는 제1 전원식 유량 제어기, 제1 가스와 혼합되는 제2 가스가 공급되며, 제2 가스의 유량을 제어하는 제2 전원식 유량 제어기, 및 제1 전원식 유량 제어기와 병렬 설치되며, 제1 전원식 유량 제어기에 전원이 공급되지 않는 경우에 제1 가스가 공급되어 제1 가스의 유량을 제어하는 제1 비전원식 유량 제어기를 구비한다. 본 발명에 따르면, 정전시에도 무전원 동작을 수행할 수 있을 뿐만 아니라, 가스 혼합 비율의 높은 정밀도를 보장하는 가스 혼합 장치를 제공하게 된다.