Invention Application
- Patent Title: VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROELEKTROMECHANISCHEN WANDLERS
- Patent Title (English): Method for producing a microelectromechanical transducer
- Patent Title (中): 用于生产微机电转换器
-
Application No.: PCT/EP2014/064099Application Date: 2014-07-02
-
Publication No.: WO2015018571A1Publication Date: 2015-02-12
- Inventor: GIESEN, Marcel , METZGER, Thomas , EKKELS, Phillip , SCHÄUFELE, Ansgar
- Applicant: EPCOS AG
- Applicant Address: St.-Martin-Straße 53 81669 München DE
- Assignee: EPCOS AG
- Current Assignee: EPCOS AG
- Current Assignee Address: St.-Martin-Straße 53 81669 München DE
- Agency: EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH
- Priority: DE10 20130806
- Main IPC: H04R31/00
- IPC: H04R31/00 ; B81C1/00 ; G01L9/00
Abstract:
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Wandlers, das die folgenden Schritte aufweist: -Herstellen einer Vielzahl von mikroelektromechanischen Wandlern (1) auf einem einzigen Wafer (13), wobei jeder Wandler (1) eine Membran (3) aufweist, -Aufteilen des Wafers (13) in zumindest einen ersten und einen zweiten Bereich (14, 15), -Feststellen der mechanischen Spannungen einer Stichprobe (18) von Membranen (3) des ersten Bereichs (14) und Vergleich mit einem vorgegebenen Soll-Wert, -Feststellen der mechanischen Spannungen einer Stichprobe (18) von Membranen (3) des zweiten Bereichs (14) und Vergleich mit dem vorgegebenen Soll-Wert, -Anpassen der Spannungen der Membranen (3) in dem ersten Bereich (14) an den vorgegebenen Soll-Wert, und -Anpassen der Spannungen der Membranen (3) in dem zweiten Bereich (15) an den vorgegebenen Soll-Wert.
Information query
