Invention Application
- Patent Title: MIKROSPIEGELANORDNUNG
- Patent Title (English): Micro-mirror assembly
- Patent Title (中): 微镜片布置
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Application No.: PCT/EP2014/075381Application Date: 2014-11-24
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Publication No.: WO2015075223A1Publication Date: 2015-05-28
- Inventor: HOFMANN, Ulrich , SENGER, Frank
- Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
- Applicant Address: Hansastraße 27c 80686 München DE
- Assignee: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
- Current Assignee: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
- Current Assignee Address: Hansastraße 27c 80686 München DE
- Agency: PFENNING, MEINIG & PARTNER GBR
- Priority: DE10 20131122
- Main IPC: B81B3/00
- IPC: B81B3/00 ; G02B26/08 ; G02B26/10
Abstract:
Es wird eine Mikrospiegelanordnung mit einer über Federelemente an einem Substrat befestigten Spiegelplatte (2), wobei der Spiegelplatte eine Antriebseinheit (9, 10) zugeordnet ist, die ausgebildet ist, die Spiegelplatte um mindestens eine Achse zur Schwingung um diese Achse anzutreiben, vorgeschlagen. Die Federelemente sind als mehrere, die Spiegelplatte (2) im Wesentlichen in ihrer Spiegelplattenebene umgebenden Federringrahmen (3) ausgebildet, wobei der innerste, an die Spiegeiplatte (2) angrenzende Federringrahmen (3) an zwei gegenüberliegenden Verbindungsstellen (5) mit der Spiegelplatte (2) verbunden ist, die Federringrahmen untereinander jeweils an zwei gegenüberliegenden Verbindungstellen (7, 8, 13) verbunden sind und der äußerste, an das Substrat (4) angrenzende Federringrahmen (3) an zwei gegenüberliegenden Verbindungsstellen (6, 12) mit dem Substrat (4) verbunden ist. Dabei sind die Verbindungsstellen (5, 7, 8, 13, 12) zwischen Spiegelplatte (2) und innerstem Federringrahmen (3), zwischen den Federringrahmen (3) selbst und zwischen äußerstem Federringrahmen (3) und Substrat (4) gegeneinander versetzt.
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