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WO2015161904A1 DRUCKSENSOR MIT EINEM KERAMISCHEN GRUNDKÖRPER 审中-公开
用陶瓷基体压力传感器

DRUCKSENSOR MIT EINEM KERAMISCHEN GRUNDKÖRPER
Abstract:
Es ist ein Drucksensor, mit einem Grundkörper (1) aus Keramik, einer auf dem Grundkörper (1) angeordneten Messmembran (3, 41), einer im Grundkörper (1) unter der Messmembran (3, 41) eingeschlossenen Druckmesskammer (5), und mindestens einem mit dem Grundkörper (1) über eine druckdichte, vorzugsweise elastomerfreie, mechanische Verbindung (7, 37, 49) verbundenen Metallkörper, beschrieben, bei dem durch die Verbindung (7, 37, 49) bedingte thermomechanische Spannungen dadurch reduziert sind, dass die druckdichte mechanische Verbindung (7, 37, 49) über einen zwischen dem Grundkörper (1) und dem Metallkörper angeordneten Anpassungskörper (9, 19, 39, 51) erfolgt, der einen thermischen Ausdehnungskoeffizient (a(z)) aufweist, der in vom Grundkörper (1) zum Metallkörper verlaufender Richtung (z) von einem einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten (α k ) der Keramik des Grundkörpers (1) entsprechenden Ausdehnungskoeffizienten auf einen dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten (α M ) des Metallkörpers entsprechenden Ausdehnungskoeffizienten ansteigt, und der Anpassungskörper (9, 19, 39, 51) durch eine erste Fügung (11) mit dem Grundkörper (1) und durch eine zweite Fügung (13) mit dem Metallkörper verbunden ist.
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