薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置

Invention Application

WO2016011727A1 薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置审中-公开

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Patent Title: 薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置
Patent Title (English): Thin-film transistor and manufacturing method therefor, array substrate and display device
Application No.: PCT/CN2014/090623

Application Date: 2014-11-07
Publication No.: WO2016011727A1

Publication Date: 2016-01-28
Inventor: 方汉铿 , 谢应涛 , 欧阳世宏 , 蔡述澄 , 石强 , 刘则
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司
Applicant Address: 中国北京市朝阳区酒仙桥路10号, Beijing 100015 CN
Assignee: 京东方科技集团股份有限公司
Current Assignee: 京东方科技集团股份有限公司
Current Assignee Address: 中国北京市朝阳区酒仙桥路10号, Beijing 100015 CN
Agency: 北京市柳沈律师事务所
Priority: CN201410360841.3 20140725
Main IPC: H01L29/786
IPC: H01L29/786 ; H01L21/336 ; H01L27/12 ; H01L21/28

Abstract:

一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置，薄膜晶体管为栅极底接触型，包括栅极（3）和栅绝缘层（2），栅绝缘层（2）上与栅极（3）对应的位置处设置有凹槽（4）。薄膜晶体管避免了源漏极的沟道处的有源层断线的问题，提高了薄膜晶体管的性能和稳定性，降低了生产成本。

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Global Dossier Patent Scope Espacenet

IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L29/00	专门适用于整流、放大、振荡或切换，并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒，例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器；半导体本体或其电极的零部件（H01L31/00至H01L47/00，H01L51/05优先；除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00；由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00）
H01L29/66	.按半导体器件的类型区分的
H01L29/68	..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的（H01L29/96优先）
H01L29/76	...单极器件
H01L29/772	....场效应晶体管
H01L29/78	.....由绝缘栅产生场效应的
H01L29/786	......薄膜晶体管