貫通電極の周縁付近に配置された絶縁部分に境界があることに伴う不具合を解消し、構造的に安定した貫通電極基板及びその製造方法を提供することを目的とする。貫通電極基板は、互いに対向する第１面と第２面とを有する基体と、前記基体の前記第１面から前記第２面を貫通する貫通孔に配置された貫通電極と、を有し、前記貫通電極は、前記第１面及び前記第２面において前記基体から露出される第１面側の端面及び第２面側の端面を有し、前記第１面側の端面及び前記第２面側の端面の一方又は双方は、周縁が前記基体で覆われていることを特徴とする。