イオンポンプを備えた荷電粒子線装置において、イオンポンプの電源の低周波ノイズを十分に低減して真空度を高精度に計測することを可能にする。イオンポンプ（２）の駆動電源部（１）を、イオンポンプ（２）を作動させる高圧電源回路部（１０１－１１２）と、イオンポンプ（２）に印加される負荷電流を検出する負荷電流検出回路部（１３０）と、負荷電流検出回路部（１３０）に加わる低周波ノイズを低減するキャンセラ回路部（１４０）とを備えて構成する。