Invention Application
- Patent Title: 자외선 센서 및 이를 제조하는 방법
- Patent Title (English): Ultraviolet sensor and method for producing same
- Patent Title (中): 超声波传感器及其制造方法
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Application No.: PCT/KR2015/007464Application Date: 2015-07-17
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Publication No.: WO2017014328A1Publication Date: 2017-01-26
- Inventor: 김건년 , 곽연화 , 오해관
- Applicant: 전자부품연구원
- Applicant Address: 463-816 경기도 성남시 분당구, 새나리로, 25, Gyeonggi-do KR
- Assignee: 전자부품연구원
- Current Assignee: 전자부품연구원
- Current Assignee Address: 463-816 경기도 성남시 분당구, 새나리로, 25, Gyeonggi-do KR
- Agency: 정부연
- Main IPC: G01J1/42
- IPC: G01J1/42 ; H01L31/09
Abstract:
자외선 센서는 압전 물질; 압전 물질 상에 배치되고 자외선을 감지하는 감지막; 압전 물질 상에서 감지막의 일단에 배치되고 전기적 신호를 기초로 생성된 탄성파를 감지막에 제공하는 탄성파 입력부; 및 압전 물질 상에서 감지막의 다른 일단에 배치되고 제공된 탄성파를 기초로 생성된 전기적 신호의 주파수의 변화를 감지하는 탄성파 출력부를 포함한다. 따라서, 자외선 센서는 파티클 자체의 특성상 표면적이 넓어 더 많은 자외선에 반응할 수 있으므로 센서의 감도를 향상시킬 수 있고, 산화아연(ZnO) 나노파티클을 사용하여 탄성파의 주파수 변화를 측정하기 때문에 가격 경쟁력을 확보할 수 있다.
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