Invention Application
- Patent Title: 赤外線センサ
- Patent Title (English): Infrared sensor
- Patent Title (中): 红外传感器
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Application No.: PCT/JP2017/002914Application Date: 2017-01-27
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Publication No.: WO2017131151A1Publication Date: 2017-08-03
- Inventor: 中村 健治 , 田里 和義 , 平野 晋吾
- Applicant: 三菱マテリアル株式会社
- Applicant Address: 〒1008117 東京都千代田区大手町1丁目3番2号 Tokyo JP
- Assignee: 三菱マテリアル株式会社
- Current Assignee: 三菱マテリアル株式会社
- Current Assignee Address: 〒1008117 東京都千代田区大手町1丁目3番2号 Tokyo JP
- Agency: 高岡 亮一
- Priority: JP2016-016512 20160129; JP2017-000401 20170105
- Main IPC: G01J1/02
- IPC: G01J1/02 ; G01J5/02
Abstract:
熱バランスの収束を早め、熱応答性を向上させることができる赤外線センサを提供する。本発明に係る赤外線センサは、絶縁性フィルム2と、一対の第1の端子電極4Aと、一対の第2の端子電極4Bと、第1の感熱素子5Aと、第2の感熱素子5Bと、絶縁性フィルムの一方の面にパターン形成された一対の第1のパターン配線6A及び一対の第2のパターン配線6Bと、絶縁性フィルムの他方の面に設けられ第1の感熱素子に対向した受光領域と、絶縁性フィルムの他方の面に形成され受光領域を避けて少なくとも第2の感熱素子の直上を覆う赤外線反射膜8と、を備え、赤外線反射膜が、第1のパターン配線の一部に近接した熱結合部Cを有している。
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