본 발명은 전자선장치에 구비되는 모노크로미터의 전극부를 통과하면서 에너지분포에 따라 분산되어 진행하는 전자선을 선택하는 에너지선택 슬릿을 미세하게 정밀가공하는 방법에 관한 것으로, 본 발명의 직사각형 슬릿은 에너지 선택을 위한 슬릿의 폭을 미세하면서도 정밀하게 가공하기 위하여 집속이온빔 장치(FIB)로 가공하고, 가공된 슬릿을 주사형 전자현미경 또는 투과형 전자현미경으로 측정한다. 또한 FIB와 전자현미경을 함께 설치한 장치를 이용하여 가공과 동시에 (in-situ) 측정을 수행하여 장치 간 이동 시간을 단축하고 제조 비용을 줄일 뿐 아니라 슬릿의 가공 정밀도를 높일 수 있으며, 슬릿의 정확한 치수, 슬릿에 부착되는 오염 입자(particle) 유무, 전자선의 슬릿 이외 부분 통과여부 및 슬릿의 정전기 검사를 통해 슬릿의 치수 정밀도를 개선하여 공간 분해능과 에너지 분해능이 향상된 슬릿을 갖춘 조리개부를 구현하여 궁극적으로 고성능 모노크로미터를 제조할 수 있다.