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公开(公告)号：WO2017200124A1
公开(公告)日：2017-11-23
申请号：PCT/KR2016/005350
申请日：2016-05-20
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 모노크로미터에서 전자선의 진로를 편향시키는 원통형 정전렌즈를 대칭으로 배열하고 그 사이에 선택 가능한 복수개의 슬릿(slit)이 포함된 조리개(aperture)를 배치하여 중심 에너지 범위의 전자선을 선택하는 것이 가능한 모노크로미터를 구비한 전자선장치에 관한 것으로, 슬릿과 원형의 개구부를 하나의 조리개부에 병렬 배치하여 고분해능을 가지면서도 유지보수성능이 뛰어난 모노크로미터를 구비하기 때문에 공간분해능과 에너지분해능이 향상되는 효과를 가진다.
Abstract translation:
本发明通过将一个单色孔径（孔径）在偏转电子束的路径的圆筒形静电透镜的对称布置包括多个狭缝（狭缝）选自那些在选择 有能够单色本发明涉及一种电子束装置，将所述狭缝的开口作为优异的维护性止动部的圆形的，而具有高分辨率单色仪的中心，平行包括在所述能量范围内选择所述电子束 因此空间分辨率和能量分辨率得到改善。
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公开(公告)号：WO2021060634A1
公开(公告)日：2021-04-01
申请号：PCT/KR2020/003086
申请日：2020-03-04
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 본 발명은 지연 에너지 분석기에 관한 것으로, 입사되는 하전 입자 빔을 굴절시키는 정전 렌즈, 상기 정전 렌즈에서 굴절된 하전 입자 빔의 초점이 내부에 만들어지고, 내부에 전위를 발생시켜 입사된 하전 입자 빔의 에너지를 감소시키며, 내부에 발생된 전위보다 에너지가 큰 하전 입자만 통과시키는 지연 전극, 및 상기 지연 전극을 통과한 하전 입자가 도달되어 하전 입자 빔의 에너지 분포를 측정하는 수집기를 포함하여 빔과 전극의 충돌을 최소화 시켰으며, 이를 통해 내구성과 측정의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.
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公开(公告)号：WO2017204380A1
公开(公告)日：2017-11-30
申请号：PCT/KR2016/005545
申请日：2016-05-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 전자선장치에 구비되는 모노크로미터의 전극부를 통과하면서 에너지분포에 따라 분산되어 진행하는 전자선을 선택하는 에너지선택 슬릿을 미세하게 정밀가공하는 방법에 관한 것으로, 본 발명의 직사각형 슬릿은 에너지 선택을 위한 슬릿의 폭을 미세하면서도 정밀하게 가공하기 위하여 집속이온빔 장치(FIB)로 가공하고, 가공된 슬릿을 주사형 전자현미경 또는 투과형 전자현미경으로 측정한다. 또한 FIB와 전자현미경을 함께 설치한 장치를 이용하여 가공과 동시에 (in-situ) 측정을 수행하여 장치 간 이동 시간을 단축하고 제조 비용을 줄일 뿐 아니라 슬릿의 가공 정밀도를 높일 수 있으며, 슬릿의 정확한 치수, 슬릿에 부착되는 오염 입자(particle) 유무, 전자선의 슬릿 이외 부분 통과여부 및 슬릿의 정전기 검사를 통해 슬릿의 치수 정밀도를 개선하여 공간 분해능과 에너지 분해능이 향상된 슬릿을 갖춘 조리개부를 구현하여 궁극적으로 고성능 모노크로미터를 제조할 수 있다.
Abstract translation: 这
本发明涉及的方法中，在通过单色仪的电极分布在按照精确的电子束装置行进提供用于选择电子束能量选择狭缝的能量分布加工精细， 本发明的矩形缝隙被加工成聚焦离子束装置（FIB），和测量与扫描电子显微镜或透射型电子显微镜所处理的缝隙准确地处理，而微缝隙对能量选择的宽度。 此外，在相同的时间的处理通过使用与FIB和电子显微镜（原位）安装的装置通过减少设备之间的出行时间，以及降低制造成本，并增加狭缝的加工精度，狭缝准确执行测量 维，通过实现附连到该狭缝或不污染微粒（颗粒），通过的狭缝是否并穿过比电子束，以提高虹膜的狭缝部的与所述空间分辨率和能量分辨率增强狭缝的尺寸精度的部分之外的狭缝的静态检查最终 高性能单色器可以制造。
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公开(公告)号：WO2017164439A1
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：PCT/KR2016/002954
申请日：2016-03-24
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 하전입자선의 진로를 편향시키는 원통형 정전렌즈를 대칭으로 배열하고 그 사이에 에너지 선택 조리개(aperture)를 배치하여 중심 에너지 범위의 하전입자선을 선택하는 것이 가능한 하전입자선 장치에 관한 것으로, 모노크로미터 중앙 전극 및 상기 중앙전극을 중심으로 전방부와 후방부에 배열되는 복수 개의 전극이 절연을 통해 서로 고정되는 일체화 구조를 취하기 때문에, 전방부와 후방부에 각각의 렌즈를 별도로 마련하는 경우에 비해 광축에 대해 오프셋을 조정하는 기구가 간소해지는 장점을 가지며, 광학계의 대칭성에 의해 출사면에서 이차 수차가 상쇄된다.
Abstract translation:
本发明带电能够对称地设置在一个圆筒形静电透镜颗粒用于偏转线的过程和放置之间的能量选择孔（小孔）的选择在能量范围的中心的带电粒子束 由于整体式中心电极和布置在中心电极周围的前部和后部的多个电极通过绝缘彼此固定， 与分别设置各个透镜的情况相比，由于用于调整相对于光轴的偏移的机构的简单性，因此光学系统的对称性抵消了第二像差。
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