Invention Application
- Patent Title: 接合体およびこれを用いた半導体装置
- Patent Title (English): WO2018042890A1 - Bonded body and semiconductor device using same
- Patent Title (中): 连接体和使用其的半导体器件
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Application No.: PCT/JP2017/025213Application Date: 2017-07-11
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Publication No.: WO2018042890A1Publication Date: 2018-03-08
- Inventor: 谷垣 剛司
- Applicant: 三菱電機株式会社
- Applicant Address: 〒1008310 東京都千代田区丸の内二丁目7番3号 Tokyo JP
- Assignee: 三菱電機株式会社
- Current Assignee: 三菱電機株式会社
- Current Assignee Address: 〒1008310 東京都千代田区丸の内二丁目7番3号 Tokyo JP
- Agency: 大岩 増雄
- Priority: JP2016-168743 20160831
- Main IPC: B23K35/14
- IPC: B23K35/14 ; B23K20/00 ; B23K35/26 ; C22C13/00 ; H05K3/34 ; H01L21/52
Abstract:
空孔2が体積比率で65%以上、90%以下で設けられた多孔質金属体3と、Snを主成分とし、多孔質金属体3を被覆する低融点金属1とを備える接合体50を用いて形成された多孔質金属体3に基づく多孔質金属30をネットワークとし、多孔質金属30のネットワークの間を、多孔質金属体3の一部と低融点金属1とで形成された金属間化合物10で埋められた接合層により、半導体素子11を絶縁基板14に接合することで、多孔質金属のネットワークによりクラック発生を抑制する。
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IPC分类: