キャリアガス不要で比較的大流量の気化対象液体を気化させる気化装置を含むワーク処理装置及び処理済ワークの製造方法を提供する。気化装置１は、カルボン酸の気化対象液体Ｆｑよりも所定の比で熱容量が大きい蓄熱体１１を含む気化部１０と、気化部１０に熱を供給する熱供給器２０とを備え、所定の比は、気化対象液体Ｆｑを蓄熱体流路１２に流して気化対象液体Ｆｑを予定した割合で気化させたときに必要な熱量が蓄熱体１１から気化対象液体Ｆｑに伝達されたときに蓄熱体１１の温度低下があらかじめ決められた範囲内となる熱容量の比である。ワーク処理装置１００は、気化装置１と、チャンバ５と、チャンバ５の内部を負圧にする真空ポンプ６とを備える。処理済ワークの製造方法は、チャンバ５内にワークＷを搬入し、気化装置１で生成された処理ガスＦｇをチャンバ５内に供給し、チャンバ５内の処理ガスＦｇの雰囲気下でワークＷに所定の処理を施す。