본 발명의 다양한 실시예는 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막의 형성 방법 및 이에 따른 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 내부에 기공이 없거나 극히 작고 또한 나노 구조를 가져 광 투과율이 높을 뿐만 아니라 경도 및 접합 강도가 높아 표시 장치의 투명 윈도우를 보호할 수 있는 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막의 형성 방법 및 이에 따른 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명의 다양한 실시예에 따른 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막의 형성 방법은 0.1 ㎛ 내지 12 ㎛의 입경 범위를 갖는 전처리 후 YOF 분말을 제공하는 단계; 이송 가스 공급부로부터 이송 가스를 공급받고, 분말 공급부로부터 상기 전처리 후 YOF 분말을 공급받아, 상기 전처리 후 YOF 분말을 에어로졸 상태로 이송하는 단계; 및 상기 에어로졸 상태로 이송된 상기 전처리 후 YOF 분말을 공정 챔버 내의 기재에 충돌 및 파쇄(분사)시켜, 상기 기재에 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막을 형성하는 단계를 포함한다.