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公开(公告)号：WO2015108277A1
公开(公告)日：2015-07-23
申请号：PCT/KR2014/011796
申请日：2014-12-04
Applicant: 아이원스 주식회사
IPC: C23C24/04
CPC classification number: C23C24/04 , C04B35/447 , C04B35/505 , C04B35/62222 , C04B2235/5436 , C23C16/06 , C23C16/4404 , C23C16/4581 , H01J37/32495
Abstract: 본 발명의 일 실시예는 플라즈마 저항성이 향상된 세라믹 피막의 형성 방법 및 이에 따른 세라믹 피막에 관한 것이다. 본 발명은 분말 공급부로부터 분말 제1입경 범위를 갖는 다수의 세라믹 분말을 공급받고, 이송 가스를 이용하여 세라믹 분말을 이송하는 단계; 및 이송된 세라믹 분말을 공정 챔버 내의 기재에 100 내지 500 m/s의 속도로 충돌 및 파쇄시켜, 피막 제1입경 범위를 갖는 다수의 제1세라믹 입자와, 피막 제1입경 범위보다 큰 피막 제2입경 범위를 갖는 다수의 제2세라믹 입자가 혼합된 세라믹 피막을 형성하는 단계를 포함하고, 제1세라믹 입자의 피막 제1입경 범위는 200 nm 내지 900 nm이며, 제2세라믹 입자의 피막 제2입경 범위는 900 nm 내지 10 ㎛인 플라즈마 저항성이 향상된 세라믹 피막의 형성 방법 및 이에 따른 피막을 개시한다.
Abstract translation: 本发明的一个实施方案涉及一种形成具有改善的等离子体电阻的陶瓷涂层的方法和由此形成的陶瓷涂层。 本发明公开了一种形成具有改善的等离子体电阻的陶瓷涂层的方法和由此形成的陶瓷涂层，其包括以下步骤：从粉末供应部分接收多个具有第一粉末粒度范围的陶瓷粉末，并运送 使用运输气体的粉末; 以及形成陶瓷涂层，其中在第一涂层粒径范围内的多个第一陶瓷颗粒和大于第一涂层粒径范围的第二涂层粒度范围内的多个第二陶瓷颗粒通过使运送 陶瓷粉末以100〜500m / s的速度与处理室内的基板碰撞以进行粉碎，其中第一颗粒的第一陶瓷涂层粒度范围为200nm〜900nm，其中， 第二颗粒的第二陶瓷涂层粒度范围为900nm至10μm。
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公开(公告)号：WO2018124739A1
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：PCT/KR2017/015571
申请日：2017-12-27
Applicant: 아이원스 주식회사
IPC: H01L21/02 , H01L21/3065
Abstract: 본 발명의 일 실시예는 투명 불소계 박막의 형성 방법 및 이에 따른 투명 불소계 박막에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 내부에 기공이 없거나 극히 작고 또한 나노 구조를 가져 광 투과율이 높을 뿐만 아니라 경도 및 접합 강도가 높아 표시 장치의 투명 윈도우를 보호할 수 있는 투명 불소계 박막의 형성 방법 및 이에 따른 투명 불소계 박막을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명은 이송 가스 공급부로부터 이송 가스를 공급받고, 분말 공급부로부터 YF3 분말을 공급받아, 상기 YF3 분말을 에어로졸 상태로 이송하는 단계; 및 상기 에어로졸 상태로 이송된 YF3 분말을 공정 챔버 내의 기재에 충돌 및 파쇄시켜, 상기 기재에 YF3 투명 불소계 박막을 형성하는 단계로 이루어진 투명 불소계 박막의 형성 방법 및 이에 따른 투명 불소계 박막을 개시한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2015108276A1
公开(公告)日：2015-07-23
申请号：PCT/KR2014/011795
申请日：2014-12-04
Applicant: 아이원스 주식회사
CPC classification number: C23C24/04 , C04B35/447 , C04B35/505 , C04B35/62222 , C04B2235/5436 , C23C16/06 , C23C16/4404 , C23C16/4581 , H01J37/32495
Abstract: 본 발명의 일 실시예는 복합 피막 입자 입경을 갖는 피막의 형성 방법 및 이에 따른 피막에 관한 것으로, 본 발명은 분말 공급부로부터 분말 제1입경 범위를 갖는 다수의 분말을 공급받고, 이송 가스를 이용하여 상기 분말을 이송하는 단계; 및 상기 이송된 분말을 공정 챔버 내의 기재에 100 내지 500 m/s의 속도로 충돌 및 파쇄시켜, 피막 제1입경 범위를 갖는 다수의 제1입자와, 상기 피막 제1입경 범위보다 큰 피막 제2입경 범위를 갖는 다수의 제2입자가 혼합된 피막을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1입자의 피막 제1입경 범위는 200 nm 내지 900 nm이며, 상기 제2입자의 피막 제2입경 범위는 900 nm 내지 10 ㎛인 복합 피막 입자 입경을 갖는 피막의 형성 방법 및 이에 따른 피막을 개시한다.
Abstract translation: 本发明的一个实施方案涉及一种形成具有复合涂层粒度的涂层的方法和由其形成的涂层。 本发明公开了形成具有复合涂层粒径的涂层的方法和由其形成的涂层，包括以下步骤：从粉末供应部分接收在第一粉末粒度范围内的多个粉末，并将 使用运输气体的粉末; 并且通过使所运送的粉末发生碰撞而形成第一涂层粒度范围内的多个第一颗粒和大于第一涂层粒度范围的第二涂层粒径范围内的多个第二颗粒的涂层 将处理室内的基板以100〜500m / s的速度进行粉碎，其中第一粒子的第一涂布粒度范围为200nm〜900nm，其中第二涂布粒度范围为 第二颗粒为900nm至10μm。
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公开(公告)号：WO2019132550A1
公开(公告)日：2019-07-04
申请号：PCT/KR2018/016785
申请日：2018-12-27
Applicant: 아이원스 주식회사
IPC: H01L21/02 , H01L21/56 , H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/02 , H01L21/3065 , H01L21/56
Abstract: 본 발명의 실시예는 코팅막의 형성 방법 및 이에 따른 코팅막에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 이트륨 옥사이드(Y2O3) 분말과 이트륨 플로라이드(YF3) 분말을 각각 소정 입경 범위 및 소정 중량비로 혼합하고, 이러한 혼합 분말을 에어로졸 디포지션 방식으로 기재에 충돌 및 파쇄시킴으로써, 공정 환경에 적합한 원하는 XRD 결정 특성 및 EDS 성분비를 갖는 이트륨 옥사이드 플로라이드 코팅막을 저비용으로 구현할 수 있는 코팅막의 형성 방법 및 이에 따른 코팅막을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명의 실시예는 이트륨(Y), 산소(O) 및 불소(F)를 포함하는 혼합 분말을 제공하는 단계; 및 상기 혼합 분말을 이용하여 기재에 YOF 코팅막을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 YOF 코팅막은 엑스선 광전자 분광법(X-ray Photoelectron Spectroscopy; XPS)에 의한 Y:O:F의 성분비(atomic ratio)가 1:1:1인 코팅막의 형성 방법 및 이에 따른 코팅막을 개시한다.
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公开(公告)号：WO2018217062A1
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：PCT/KR2018/005974
申请日：2018-05-25
Applicant: 아이원스 주식회사
IPC: H01L21/02 , H01L21/324 , H01L21/3065
Abstract: 본 발명의 다양한 실시예는 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막의 형성 방법 및 이에 따른 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 내부에 기공이 없거나 극히 작고 또한 나노 구조를 가져 광 투과율이 높을 뿐만 아니라 경도 및 접합 강도가 높아 표시 장치의 투명 윈도우를 보호할 수 있는 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막의 형성 방법 및 이에 따른 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명의 다양한 실시예에 따른 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막의 형성 방법은 0.1 ㎛ 내지 12 ㎛의 입경 범위를 갖는 전처리 후 YOF 분말을 제공하는 단계; 이송 가스 공급부로부터 이송 가스를 공급받고, 분말 공급부로부터 상기 전처리 후 YOF 분말을 공급받아, 상기 전처리 후 YOF 분말을 에어로졸 상태로 이송하는 단계; 및 상기 에어로졸 상태로 이송된 상기 전처리 후 YOF 분말을 공정 챔버 내의 기재에 충돌 및 파쇄(분사)시켜, 상기 기재에 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막을 형성하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2018147702A1
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：PCT/KR2018/001837
申请日：2018-02-12
Applicant: 아이원스 주식회사
Abstract: 본 발명은 글래스 코팅 구조물 및 이의 형성 방법에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 글래스 파우더를 모재에 상온 진공 분사 방식으로 코팅하고, 이어서 열처리 공정을 수행함으로써, 그레인 바운더리가 없는 높은 광 투과도를 갖는 글래스 코팅 구조물 및 이의 형성 방법을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명은 모재; 및 상기 모재 상에 글래스 파우더가 기계적 충격에 의해서 형성된 그레인 바운더리를 갖는 불투명 코팅층이 열처리됨으로써 형성된 그레인 바운더리가 없는 투명 코팅층을 포함하는 글래스 코팅 구조물 및 이의 형성 방법을 개시한다.
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公开(公告)号：WO2018124738A1
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：PCT/KR2017/015568
申请日：2017-12-27
Applicant: 아이원스 주식회사
Abstract: 본 발명은 복합 구조물 및 이의 형성 방법에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 표면 조도가 크거나 분말 입자의 충돌에 의해 미세 균열 또는 식각이 발생할 수도 있는 기재 표면에 완충층을 형성하여, 기재의 표면을 보호한 후에 기능층을 형성하여, 기능층을 형성할 때 기계적 충격에 의해서 기재 표면의 손상 및 깨짐을 방지할 수 있는 복합 구조물 및 이의 형성 방법을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명은 표면 조도가 0.1 ㎛ 이상이거나 또는 유기 소재로 된 기재; 상기 기재 상에 완충성 분말이 기계적 충격에 의해서 코팅된 완충층; 및, 상기 완충층 상에 기능성 분말이 기계적 충격에 의해서 코팅된 기능층을 포함하고, 상기 완충층의 강도가 상기 기능층의 강도에 비해서 더 낮은 복합 구조물 및 이의 형성 방법을 개시한다.
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