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Invention Application
WO2019002491A1 VAKUUMVENTIL MIT POSITIONSSENSOR 审中-公开

VAKUUMVENTIL MIT POSITIONSSENSOR
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Vakuumventil (1) mit einem Ventilverschluss (4) und einer mit dem Ventilverschluss (4) gekoppelten Antriebseinheit (7), welche wenigstens ein Verstellelement (5) aufweist. Das Vakuumventil (1) weist weiter einen Positionssensor (10, 10') auf, insbesondere einen Weg- oder Abstandssensor, so dass eine Position des Ventilverschlusses (4) und/oder des wenigstens einen Verstellelements (5) bezogen auf eine Nullposition, insbesondere einer Offenposition (O) oder Schliessposition (G) des Vakuumventils (1), messbar ist.
Abstract(English):

The invention relates to a vacuum valve (1) having a valve closure (4) and having a drive unit (7) which is coupled to the valve closure (4) and which has at least one adjustment element (5). The vacuum valve (1) furthermore has a position sensor (10, 10'), in particular a travel or distance sensor, such that a position of the valve closure (4) and/or of the at least one adjustment element (5) relative to a zero position, in particular an open position (O) or closed position (G) of the vacuum valve (1), can be measured.

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