中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

168 records (took 0.016 seconds)

    EINBAUSTECKVERBINDER
    1.
    发明申请
    EINBAUSTECKVERBINDER 审中-公开

    公开(公告)号：WO2023285096A1

    公开(公告)日：2023-01-19

    申请号：PCT/EP2022/067138

    申请日：2022-06-23

    Applicant: NEUTRIK AG

    Inventor： DOBLER, Oliver

    IPC: H01R24/64 ,  H01R13/52 ,  H01R31/06 ,  H01R13/504

    Abstract: Die Erfindung betrifft einen elektrischen Steckverbinder, mit RJ45-Kabelsteckern, umfassend ein Gehäuse (1) mit zumindest einer Einstecköffnung (2), einem Kontaktträger (15), einem Kontaktsatz (18) und einem Verschlusselement (21, 35, 36), welches das Gehäuse (1) an der der Einstecköffnung (2) gegenüberliegenden Hinterseite verschliesst und zumindest eine Durchführung für zumindest ein elektrisches Kontaktelement (20) aufweist. Der Kontaktsatz (18) ist mit dem Verschlusselement (21, 35, 36) zumindest mechanisch verbunden. Die Kon- taktelemente (20) an dem der Einstecköffnung (2) entgegengesetzten Ende des Kontaktsatzes (18) sind in oder auf die Hinterseite des Verschlusselementes (21, 35, 36) geführt.

    VACUUM PROCESSING SYSTEM AND PROCESS CONTROL
    2.
    发明申请
    VACUUM PROCESSING SYSTEM AND PROCESS CONTROL 审中-公开

    公开(公告)号：WO2022238257A1

    公开(公告)日：2022-11-17

    申请号：PCT/EP2022/062313

    申请日：2022-05-06

    Applicant: VAT HOLDING AG

    Inventor： BALON, Frantisek ,  YUNT, Kerim ,  MAYRHOFER, Dominic

    IPC: H01L21/67 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67253

    Abstract: Vacuum processing system (1) comprising a vacuum chamber (10), a controllable fluid application arrangement (30) connected to the vacuum chamber (10) and configured to provide inflow of fluid into the vacuum chamber (10) in controlled manner and a controlling and/or regulating unit (40) for controlling at least the controllable fluid application arrangement (30). The vacuum processing system (1) comprises an atmospheric analyser (50), the atmospheric analyser (50) is arranged and configured to determine atmospheric information of inside of the vacuum chamber (10) and to provide the atmospheric information as a respective atmospheric signal and the controlling and/or regulating unit (40) is configured to control the controllable fluid application arrangement (30) as a function of the atmospheric signal.

    VAKUUMVENTIL MIT FUNKANORDNUNG
    3.
    发明申请
    VAKUUMVENTIL MIT FUNKANORDNUNG 审中-公开

    公开(公告)号：WO2022175320A1

    公开(公告)日：2022-08-25

    申请号：PCT/EP2022/053809

    申请日：2022-02-16

    Applicant: VAT HOLDING AG

    Inventor： HOFER, Andreas ,  ESCHENMOSER, Adrian ,  ZHANG, Xunshuo ,  BALON, Frantisek

    IPC: F16K3/02 ,  F16K3/10 ,  F16K31/04 ,  F16K37/00 ,  F16K51/02

    Abstract: Vakuumventil (1) zur Regelung eines Volumen- oder Massenstroms und/oder zum Verschliessen und Öffnen einer Ventilöffnung (2), mit einem Ventilsitz, einem VentilVerschluss (4) und einer mit dem VentilVerschluss (4) gekoppelten Antriebseinheit (7), die zur derartigen Bereitstellung einer Bewegung des VentilVerschlusses (4) eingerichtet ist, dass der VentilVerschluss (4) von einer Offenposition (0) in eine Schliessposition (S) und zurück verstellbar ist. Das Vakuumventil (1) weist eine Funkanordnung (10) mit zumindest einem Kopplungselement und einem Speicherelement auf und mittels des Speicherelements ist eine Information bezüglich eines Ventilzustands bereitstellbar.

    STIFTHUBVORRICHTUNG MIT KUPPLUNG ZUM AUFNEHMEN UND LÖSEN EINES TRAGSTIFTS
    4.
    发明申请
    STIFTHUBVORRICHTUNG MIT KUPPLUNG ZUM AUFNEHMEN UND LÖSEN EINES TRAGSTIFTS 审中-公开

    公开(公告)号：WO2019185124A1

    公开(公告)日：2019-10-03

    申请号：PCT/EP2018/057798

    申请日：2018-03-27

    Applicant: VAT HOLDING AG

    Inventor： DÜNSER, Daniel ,  KÜHNE, Clemens ,  DÜR, Michael ,  BEREUTER, Rene

    IPC: H01L21/687

    Abstract: Stifthubvorrichtung die zur Bewegung und Positionierung eines zu bearbeitenden Substrats in einem durch eine Vakuumprozesskammer bereitstellbaren Prozessatmosphärenbereich ausgebildet ist, mit einer zur Aufnahme eines zum Kontaktieren und Tragen des Substrats ausgestalteten Tragstifts (7) ausgebildeten Kupplung (20) und einer Antriebseinheit, die derart ausgebildet ist und mit der Kupplung (20) zusammenwirkt, dass die Kupplung (20) von einer abgesenkten Normalposition in eine ausgefahrenen Trageposition und zurück verstellbar ist. Die Kupplung (20) ist linear entlang einer Verstellachse bewegbar. Die Stifthubvorrichtung weist eine Trenneinrichtung zur Trennung des Prozessatmosphärenbereichs von einem Aussenatmosphärenbereich auf, wobei die Antriebseinheit zumindest teilweise dem Aussenatmosphärenbereich und die Kupplung (20) insbesondere dem Prozessatmosphärenbereich zugeordnet ist. Die Kupplung (20) weist zur Aufnahme des Tragstifts (7) eine zentrale Aufnahmeachse (22) definierende, sich linear erstreckende Ausnehmung (21) auf mit einer im Wesentlichen orthogonal zu der Aufnahmeachse (21) definierten Ausnehmungsweite und einem bezüglich der Aufnahmeachse (21) axial begrenzten Klemmabschnitt (25) mit einem Klemmelement (30), wobei das Klemmelement (30) in einem unbestückten Aufnahmezustand eine Klemmweite (25a) definiert, die kleiner als die Ausnehmungsweite ist und die Klemmweite (25a) in Abhängigkeit einer auf das Klemmelement (30) radial wirkenden Kraft variierbar ist.

    VAKUUMVENTIL MIT POSITIONSSENSOR
    6.
    发明申请
    VAKUUMVENTIL MIT POSITIONSSENSOR 审中-公开

    公开(公告)号：WO2019002491A1

    公开(公告)日：2019-01-03

    申请号：PCT/EP2018/067466

    申请日：2018-06-28

    Applicant: VAT HOLDING AG

    Inventor： BÖHM, Christoph ,  ESCHENMOSER, Adrian ,  ELFORD, Kyle Axel

    IPC: F16K51/02 ,  F16K37/00 ,  F16K3/18 ,  F16K3/10

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Vakuumventil (1) mit einem Ventilverschluss (4) und einer mit dem Ventilverschluss (4) gekoppelten Antriebseinheit (7), welche wenigstens ein Verstellelement (5) aufweist. Das Vakuumventil (1) weist weiter einen Positionssensor (10, 10') auf, insbesondere einen Weg- oder Abstandssensor, so dass eine Position des Ventilverschlusses (4) und/oder des wenigstens einen Verstellelements (5) bezogen auf eine Nullposition, insbesondere einer Offenposition (O) oder Schliessposition (G) des Vakuumventils (1), messbar ist.

    VAKUUMVENTIL MIT TEMPERATURSENSOR
    9.
    发明申请
    VAKUUMVENTIL MIT TEMPERATURSENSOR 审中-公开

    公开(公告)号：WO2019002487A1

    公开(公告)日：2019-01-03

    申请号：PCT/EP2018/067462

    申请日：2018-06-28

    Applicant: VAT HOLDING AG

    Inventor： ESCHENMOSER, Adrian ,  HOFER, Andreas

    IPC: F16K37/00 ,  F16K51/02 ,  F16K3/02 ,  F16K3/18 ,  F16K3/04

    Abstract: Vakuumventil (1') zur Regelung eines Volumen- oder Massenstroms und/oder zum gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs, mit einem Ventilsitz (3), der eine eine Öffnungsachse (H) definierende Ventilöffnung (2) und eine die Ventilöffnung (2) umlaufende erste Dichtfläche (3) aufweist, einem Ventilverschluss (4) zur Regelung des Volumen- oder Massenstroms und/oder zur Unterbrechung des Fliesswegs, mit einer zu der ersten Dichtfläche (3) korrespondierenden zweiten Dichtfläche (6), einer mit dem Ventilverschluss (4) gekoppelten Antriebseinheit (7), die derart ausgebildet ist, dass der Ventilverschluss (4) von einer Offenposition (0), in welcher der Ventilverschluss (4) und der Ventilsitz (3) relativ zueinander kontaktlos vorliegen, in eine Schliessposition, in welcher über eine dazwischen liegende Dichtung ein dichtender Kontakt zwischen der ersten Dichtfläche (3) und der zweiten Dichtfläche (6) besteht und die Ventilöffnung (2) dadurch gasdicht verschlossen ist, und zurück verstellbar ist. Das Vakuumventil (1') weist mindestens einen Temperatursensor (10) auf, wobei der Temperatursensor (10) derart ausgebildet und angeordnet ist, dass mittels des Temperatursensors (10) ein eine thermische Information mit Bezug zu zumindest einem Teil des Vakuumventils (1') repräsentierendes Messsignal erfassbar ist.

    PNEUMATISCHE STIFTHUBVORRICHTUNG UND PNEUMATISCHER HUBZYLINDER
    10.
    发明申请
    PNEUMATISCHE STIFTHUBVORRICHTUNG UND PNEUMATISCHER HUBZYLINDER 审中-公开

    公开(公告)号：WO2018149780A1

    公开(公告)日：2018-08-23

    申请号：PCT/EP2018/053403

    申请日：2018-02-12

    Applicant: VAT HOLDING AG

    Inventor： DÜR, Michael ,  KIENREICH, Martin

    IPC: G03F7/20 ,  H01L21/687 ,  F15B11/12 ,  H01L21/67 ,  C23C16/458

    Abstract: Stifthubvorrichtung (10) für die Bewegung und Positionierung eines zu bearbeitenden Substrats, mit einem pneumatischen Antriebszylinder mit einem ein erstes zylindrisches Innenvolumen (25) einschliessenden zylindrischen Gehäuse (21) und einer entlang einer Bewegungsachse beweglich angeordneten ersten Kolbenanordnung mit einem ersten Kolben (22) und einer ersten Kolbenstange (23). Der erste Kolben (22) begrenzt das erste Innenvolumen (25). Die erste Kolbenstange (23) ragt aus dem zylindrischen Gehäuse (21) und die erste Kolbenanordnung ist durch eine Druckbeaufschlagung des ersten Innenvolumens (25) in eine Bestückungsposition verstellbar. Die Vorrichtung hat mindestens einen parallel in Richtung der Längsachse (L) beweglichen Tragstift (11), wobei der Tragstift (11) mit der ersten Kolbenstange (23) verbunden ist und der Tragstift (11) durch eine Bewegung der ersten Kolbenanordnung bewegbar ist. Der Antriebszylinder weist eine zweite Kolbenanordnung mit einem zweiten Kolben (32) und einer zweiten Kolbenstange (33) auf, wobei der zweite Kolben (32) ein zweites Innenvolumen (35) begrenzt, die zweite Kolbenanordnung koaxial zur ersten Kolbenanordnung bewegbar angeordnet ist und eine Endfläche der zweiten Kolbenstange (33) in Richtung des ersten Kolbens (22) weist. Die erste und die zweite Kolbenanordnung sind derart angeordnet, dass der erste Kolben (22) und die zweite Kolbenstange (33) in der Bestückungsposition berührungslos vorliegen und der erste Kolben (22) und die zweite Kolbenstange (33) in einer Bearbeitungsposition in Berührung sind.

Patent Agency Ranking