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WO2019007772A1 MIKROMECHANISCHE SENSORVORRICHTUNG UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开

MIKROMECHANISCHE SENSORVORRICHTUNG UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN
Abstract:
Die Erfindung schafft eine mikromechanische Sensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Sensorvorrichtung ist ausgestattet mit einem Sensorsubstrat (2) mit einer Vorderseite (VS) und einer Rückseite (RS), einem auf der Vorderseite (VS) vorgesehenen Sensorbereich (1), welcher mit einem Umweltmedium in Kontakt bringbar ist, und einer auf der Vorderseite (VS) aufgebrachten Verkappungseinrichtung (4) zum Verkappen des Sensorbereichs (1). In der Verkappungseinrichtung (4) und/oder im Sensorsubstrat (2) sind ein oder mehrere Kapillaren (3) zum Durchleiten des Umweltmediums auf den Sensorbereich (1) gebildet, wobei auf den Innenwänden (I) der Kapillaren (3) zumindest bereichsweise eine flüssigkeitsabweisende Schicht (5) vorgesehen ist.
Abstract(English):

The invention relates to a micromechanical sensor device and to a corresponding production method. The micromechanical sensor device is equipped with a sensor substrate (2) having a front face (VS) and a rear face (RS), a sensor area (1) provided on the front face (VS), which may be brought into contact with an ambient medium, and a capping device (4) mounted on the front side (VS) for capping the sensor area (1). One or more capillaries (3) are formed in the capping device (4) and/or in the sensor substrate (2), through which one or more capillaries the ambient medium may be passed onto the sensor area (1), wherein, at least in parts, a liquid-repelling coat (5) is provided on the inner walls (I) of the capillaries (3).

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