압력 센서 유닛
    1.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2023068446A1

    公开(公告)日:2023-04-27

    申请号:PCT/KR2021/018407

    申请日:2021-12-07

    IPC分类号: G01L19/14 G01L19/00 G01L9/00

    摘要: 압력 센서 유닛이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서 유닛은, 원통형 하우징; 상부와 하부에 신호전달전극이 각각 형성되고 상기 하우징 내에서 수직방향으로 설치되는 인쇄회로기판; 상기 하우징 내에 설치되고, 상기 인쇄회로기판의 일부가 삽입되어 상기 인쇄회로기판의 이동을 방지하는 가이드 몰드; 및 상기 하우징과 결합되되, 상기 가이드 몰드 하부에 배치되며, 압력을 감지하는 압력센서가 마련된 감지 유닛;을 포함하고, 상기 가이드 몰드는, 상기 인쇄회로기판과 상기 하우징을 접지시키는 접지부재;를 포함한다.

    DISPOSITIF DE MESURE DE PRESSION HYDROSTATIQUE, NOTAMMENT ABSOLUE ET/OU DE TEMPÉRATURE ET PROCÉDÉ DE MESURE ASSOCIÉ

    公开(公告)号:WO2023007104A1

    公开(公告)日:2023-02-02

    申请号:PCT/FR2022/051530

    申请日:2022-07-29

    发明人: MAURIN, Laurent

    摘要: L'invention concerne un dispositif de mesure (1) d'une pression hydrostatique et/ou de température, comportant une paroi (10) s'étendant le long d'un axe central (X-X) en l'entourant, la paroi (10) étant fermée à ses extrémités pour délimiter une cavité (15) étanche. Le dispositif de mesure (1) comporte un organe de mesure (20) de déformation et un calculateur (30). L'organe de mesure (20) est configuré pour délivrer un premier et un deuxième signal de mesure représentatifs d'une variation d'une déformation respective de la paroi (10) selon des directions distinctes. Le calculateur (30) est configuré pour calculer une grandeur de pression hydrostatique et/ou de température à partir du premier signal de mesure, du deuxième signal de mesure, et respectivement d'une pression hydrostatique initiale et/ou d'une température initiale s'exerçant dans la cavité (15). L'invention concerne en outre un procédé de mesure et une installation comprenant un tel dispositif.

    CREEP/DEFORMATION COMPENSATION FOR SENSORS
    3.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2022254431A1

    公开(公告)日:2022-12-08

    申请号:PCT/IL2022/050576

    申请日:2022-05-30

    申请人: EZMEMS LTD.

    IPC分类号: G01L13/02 G01L11/02 G01L19/00

    摘要: A sensor device comprising at least one sensor element and a sealed fluid cell having a compensation portion and a measurement portion coupled to the at least one sensor element. The sensor device is configured such that the compensation and measurement portions deform in response to externally applied fluid pressure to thereby change internal pressure conditions inside the sealed fluid cell and cause the measurement portion to experience differential pressure conditions of corresponding to the external and internal pressures.

    差圧センサ及びその製造方法
    5.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2022239442A1

    公开(公告)日:2022-11-17

    申请号:PCT/JP2022/010703

    申请日:2022-03-10

    IPC分类号: G01L19/00

    摘要: 差圧センサは、下面と、上面と、側面とを有する。差圧センサは、上面を有する基板と、基板の上面の上方に位置し、2つの圧力の差圧を検出するダイアフラムを有する検出素子と、基板の上面と検出素子とを覆い、上面を有する樹脂パッケージとを備える。ダイアフラムの上面を、樹脂パッケージの上面に形成された開口を介して、差圧センサの外部に連通する貫通孔が樹脂パッケージに形成される。ダイアフラムの下面を、側面に形成された開口を介して、差圧センサの外部に連通する流路が検出素子に形成される。

    ISOLIERFLUIDÜBERWACHUNGSBLOCK SOWIE MONTAGEVERFAHREN

    公开(公告)号:WO2022152537A1

    公开(公告)日:2022-07-21

    申请号:PCT/EP2021/087324

    申请日:2021-12-22

    IPC分类号: H01H33/56 H01H35/24 G01L19/00

    摘要: Die Erfindung betrifft einen Isolierfluidüberwachungsblock (1). Der Isolierfluidüberwachungsblock (1) weist einen Isolierfluidkanal (3) auf. Der Isolierfluidkanal (3) ist über einen Stichkanal (17) mit einer Ausnehmung (18) verbunden. Zumindest teilweise ist ein Sensorelement (19) in der Ausnehmung (18) angeordnet. Das Sensorelement (19) dient der Überwachung eines Isolierfluides. Weiterhin ist ein Montageverfahren für einen Isolierfluidüberwachungsblock (1) angegeben.

    传感器装置以及阀组件
    7.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2022142994A1

    公开(公告)日:2022-07-07

    申请号:PCT/CN2021/135068

    申请日:2021-12-02

    摘要: 一种传感器装置,包括:外壳(1)和感测组件(2);感测组件(2)包括电路基板(21)、感测元件(22)以及套筒(23);传感器装置还具有内腔(200)和通道(231);内腔(200)与通道(231)分别位于电路基板厚度方向的不同侧;套筒(23)具有筒壁(232);筒壁(232)沿通道轴向方向的末端与电路基板(21)密封连接;套筒(23)的筒壁(232)位于通道(231)的外周;外壳(1)具有配合部(11),配合部(11)具有容纳部(111);套筒(23)至少部分收容于容纳部(111);配合部(11)包括形成容纳部(111)的第一周壁部(112);第一周壁部(112)与套筒(23)的筒壁(232)外周侧密封连接;内腔(200)与通道(231)不连通。传感器装置内腔(200)与流道之间的密封性较好。还提供了一种具有传感器装置的阀组件(300)。

    KOPLANARER DRUCKMESSAUFNEHMER ZUR BESTIMMUNG DES DRUCKMESSWERTES EINES MEDIUMS

    公开(公告)号:WO2022128399A1

    公开(公告)日:2022-06-23

    申请号:PCT/EP2021/083092

    申请日:2021-11-26

    摘要: Die Erfindung betrifft einen Druckmessaufnehmer (1) zur Bestimmung des Druckmesswertes (p1) eines Mediums bezüglich eines weiteren Druckwertes (p2) mit einem Messwerk (2) und einer Wandlerkammer (3), wobei an oder in einem dem Prozess zugewandten Endbereich des Grundkörpers (9a) des Messwerks (2) mindestens eine mit dem Medium direkt oder indirekt in Kontakt stehende Trennmembrane (5) vorgesehen ist, wobei die Wandlerkammer (3), die eine Druckmesszelle (12) mit zumindest einem drucksensitiven Messelement (13) mit einer ersten Druckbeaufschlagungsfläche (13a) und einer zweiten Druckbeaufschlagungsfläche (13b) aufweist, sich an den vom Prozess abgewandten Bereich des Messwerks (2) anschließt oder sich in dem vom Prozess abgewandten Bereich des Messwerks (2) befindet, wobei die erste Druckbeaufschlagungsfläche (13a) und die zweite Druckbeaufschlagungsfläche (13b) des drucksensitiven Messelements (13) relativ zur Längsachse (L) der Wandlerkammer (3) bzw. des Druckmessaufnehmers (1) hintereinanderliegend angeordnet sind, wobei der Druck (p1) des Mediums hydraulisch zu der ersten Druckbeaufschlagungsfläche (13a) und der weitere Druck (p2) hydraulisch zu der zweiten Druckbeaufschlagungsfläche (13b) des drucksensitiven Messelements (13) übertragen wird, wobei mindestens eine erste Kapillarbohrung (10a, 10b, 11a, 11b) vorgesehen ist, die von der Trennmembrane (5) über den Grundkörper (9a) des Messwerks (2) zur ersten Druckbeaufschlagungsfläche (13a) des drucksensitiven Messelements (13) geführt ist oder die von der Trennmembrane (5) über den Grundkörper (9) des Messwerks (2) und eine korrespondierende erste Kapillarbohrung (26a) im Grundkörper (9) der Wandlerkammer (3) zur ersten Druckbeaufschlagungsfläche (13a) des drucksensitiven Messelements (13) geführt ist.

    一种MEMS传感器
    10.
    发明申请
    一种MEMS传感器 审中-公开

    公开(公告)号:WO2022104930A1

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:PCT/CN2020/133739

    申请日:2020-12-04

    发明人: 柏杨 张睿

    IPC分类号: H04R19/04 H04R1/04 G01L19/00

    摘要: 一种MEMS传感器(100),电连接MEMS芯片(20)与ASIC芯片(30)的金属引线(40)包括设于MEMS芯片(20)的第一焊点(41)、自第一焊点(41)延伸的第一延伸部(43)、自第一延伸部(43)向远离MEMS芯片(20)方向弯折延伸的第一弯折部(44)、设于ASIC芯片的第二焊点(42)、自第二焊点(43)延伸的第二延伸部(45)、自第二延伸部(45)向远离ASIC芯片(30)方向弯折延伸的第二弯折部(46)以及连接第一弯折部(44)和第二弯折部(46)的第三延伸部(47)。金属引线(40)的形状为四边形,在第一弯折部(44)和第二弯折部(46)处均可以伸缩,缓解了由于热应力集中引起的形变,金属引线(40)不易断裂,提高了MEMS传感器(100)的可靠性。