세라믹 선재의 제조 방법 및 그의 제조 설비
Abstract:
본 발명은 세라믹 선제의 제조방법 및 그의 제조설비를 개시한다. 그의 방법은, 기판 상에 초전도 층을 형성하는 단계와, 상기 초전도 층 상에 보호 층을 형성하는 단계를 포함한다. 여기서, 상기 초전도 층을 형성하는 단계는 복수개의 금속 소스들을 동시증발방법으로 증발시켜 상기 초전도 층을 증착하는 단계와, 상기 초전도 층의 표면 색상을 검출하는 단계와, 상기 표면 색상에 따라 상기 초전도 층의 상기 금속 소스들의 성분비를 판별하는 단계를 포함한다.
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