光導波路の検査方法およびそれを用いた光導波路の製法
Abstract:
出射光を撮像する際の撮像素子の位置決めに要する時間を短縮することができる光導波路の検査方法およびそれを用いた光導波路の製法を提供する。本発明の光導波路の検査方法は、光導波路の光出射部(接続面7c)の位置をレーザ変位計30等の位置検知器により検知し、その光出射部の位置情報に基づいて、カメラ20の撮像素子の焦点が上記光出射部に合う位置に、そのカメラ20を位置決めする。ついで、光導波路の光入射部からコア7に入射させた光Lを、上記光出射部から出射させ、その出射光Lを、上記カメラ20の撮像素子により撮像する。つぎに、その撮像した出射光Lの画像を解析することにより、コア7の状態(例えば、光伝播性能,寸法,光反射面の傾斜角度等)を検査する。そして、その検査したコア7の状態が、予め設定した基準に合うものを、上記検査の合格品とする。
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