Invention Application
- Patent Title: VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR SCANNENDEN ABSTANDSERMITTLUNG EINES OBJEKTS
- Patent Title (English): APPARATUS AND METHOD FOR DETERMINING THE DISTANCE OF AN OBJECT BY SCANNING
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Application No.: PCT/EP2019/067637Application Date: 2019-07-01
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Publication No.: WO2020011586A1Publication Date: 2020-01-16
- Inventor: DAVYDENKO, Vladimir , ZOTT, Andy , HÖLLER, Frank , HORN, Jan
- Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS AG , DAVYDENKO, Vladimir , ZOTT, Andy , HÖLLER, Frank , HORN, Jan
- Applicant Address: Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- Assignee: CARL ZEISS SMT GMBH,CARL ZEISS AG,DAVYDENKO, Vladimir,ZOTT, Andy,HÖLLER, Frank,HORN, Jan
- Current Assignee: CARL ZEISS SMT GMBH,CARL ZEISS AG,DAVYDENKO, Vladimir,ZOTT, Andy,HÖLLER, Frank,HORN, Jan
- Current Assignee Address: Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- Agency: FRANK, Hartmut
- Priority: DE10 20180709
- Main IPC: G01S7/481
- IPC: G01S7/481 ; G01S7/491 ; G01S17/32 ; G01S17/42 ; G01S17/58 ; G01S17/93
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur scannenden Abstandsermittlung eines Objekts. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist eine Lichtquelle (210, 310) zum Aussenden eines optischen Signals mit zeitlich variierender Frequenz, eine Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts auf Basis eines aus dem Signal hervorgegangenen, an dem Objekt reflektierten Messsignals und eines nicht an dem Objekt reflektierten Referenzsignals, und ein dispersives Element (230, 334), welches eine frequenzselektive Winkelverteilung des Messsignals bewirkt, wobei hierdurch erzeugte Teilsignale unter voneinander verschiedenen Winkeln zu dem Objekt gelenkt werden auf, wobei die Auswerteeinrichtung weiter zur Ermittlung einer Geschwindigkeit des Objekts auf Basis von jeweils zwei Differenzfrequenz- Bestimmungen zwischen jeweils einem an dem Objekt reflektierten Messsignal und einem nicht an dem Objekt reflektierten Referenzsignal ausgelegt ist, wobei die für diese beiden Differenzfrequenz-Bestimmungen herangezogenen Messsignale sich hinsichtlich der die jeweilige Zeitabhängigkeit ihrer Frequenz beschreibenden Funktion voneinander unterscheiden.
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