-
公开(公告)号：WO2019145242A1
公开(公告)日：2019-08-01
申请号：PCT/EP2019/051320
申请日：2019-01-21
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH , DAVYDENKO, Vladimir
Inventor： DAVYDENKO, Vladimir
CPC classification number: G01S17/325 , G01S7/4917 , G01S17/58
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Ermitteln eines Abstandes eines bewegten Objekts, sowie eine Lichtquelle zum Aussenden eines optischen Signals mit zeitlich variierender Frequenz, insbesondere zur Verwendung in einer solchen Vorrichtung. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist auf: eine Lichtquelle (110) zum Aussenden eines optischen Signals mit zeitlich variierender Frequenz, wobei die Lichtquelle einen Laser (201, 251), einen ersten WGM-Resonator (210, 260), welcher an den Laser optisch gekoppelt ist, und einen zweiten WGM-Resonator (220, 270), welcher an den Laser optisch gekoppelt ist, aufweist, einen Detektor (160) zur Erzeugung eines Detektorsignals aus einer Überlagerung eines ersten Teilsignals (111) und eines zweiten Teilsignals (121), wobei das erste Teilsignal und das zweite Teilsignal durch Zerlegung des von der Lichtquelle (110) ausgesandten optischen Signals hervorgegangen sind, wobei das erste Teilsignal ohne vorherige Reflexion an dem Objekt zum Detektor gelangt und wobei das zweite Teilsignal nach Reflexion an dem Objekt zum Detektor (160) gelangt, wobei das Detektorsignal für die Differenzfrequenz zwischen der Frequenz des zweiten Teilsignals und der Frequenz des ersten Teilsignals charakteristisch ist, und eine Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts auf Basis dieser Differenzfrequenz.
-
公开(公告)号：WO2019170703A3
公开(公告)日：2019-09-12
申请号：PCT/EP2019/055498
申请日：2019-03-06
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS AG , DAVYDENKO, Vladimir , HÖLLER, Frank , ZOTT, Andy
Inventor： DAVYDENKO, Vladimir , HÖLLER, Frank , ZOTT, Andy
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur scannenden Abstandsermittlung eines Objekts, mit einer Lichtquelle (110, 210, 310, 610) zum Aussenden eines optischen Signals (111, 211, 311) mit zeitlich variierender Frequenz, einer Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts (140, 240, 340) auf Basis eines aus dem Signal hervorgegangenen, an dem Objekt reflektierten Messsignals (121, 221, 321) und eines nicht an dem Objekt reflektierten Referenzsignals (122, 222, 322), und einem dispersiven Element (131, 231, 331, 620), welches eine frequenzselektive Winkelverteilung des Messsignals (121, 221, 321) bewirkt, wobei hierdurch erzeugte Teilsignale unter voneinander verschiedenen Winkeln zu dem Objekt (140, 240, 340) gelenkt werden.
-
公开(公告)号：WO2020064437A1
公开(公告)日：2020-04-02
申请号：PCT/EP2019/074879
申请日：2019-09-17
Applicant: CARL ZEISS AG , DAVYDENKO, Vladimir , WESTPHAL, Peter
Inventor： DAVYDENKO, Vladimir , WESTPHAL, Peter
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur scannenden Abstandsermittlung eines Objekts. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist eine Lichtquellen-Einheit (110) zum Aussenden einer Mehrzahl von optischen Signalen mit jeweils zeitlich variierender Frequenz, wobei die Lichtquellen-Einheit (110) eine Mehrzahl von Lasern aufweist, eine Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts auf Basis von aus den optischen Signalen jeweils hervorgegangenen, an dem Objekt reflektierten oder gestreuten Messsignalen und nicht an dem Objekt reflektierten oder gestreuten Referenzsignalen, und eine dispersive Scan-Einrichtung (130) auf, welche eine frequenzselektive Ablenkung der zu dem Objekt gelenkten Messsignale bewirkt.
-
公开(公告)号：WO2002101437A2
公开(公告)日：2002-12-19
申请号：PCT/EP2002/004087
申请日：2002-04-12
Inventor： DAVYDENKO, Vladimir
IPC: G02B6/42
CPC classification number: G02B19/0057 , G02B19/0028 , G02B27/09 , G02B27/0938 , G02B27/0977
Abstract: Vorrichtung zur optischen Strahltransformation mit mindestens einer Eintrittsfläche (13) und mindestens einer Austrittsfläche (14), durch die ein zu transformierender Lichtstrahl (9) hindurchtreten kann, wobei die Vorrichtung (3) zur optischen Strahltransformation aus einem doppelbrechenden Material besteht, dessen mindestens eine optische Achse derart gegenüber der Eintrittsfläche (13) und der Austrittsfläche (14) der Vorrichtung (3) orientiert ist, dass ein durch die Vorrichtung (3) hindurchtretender Lichtstrahl (9) im Innern der Vorrichtung (3) eine Reflektion erfährt, so dass der Querschnitt (10) des in die Vorrichtung (3) zur optischen Strahltransformation eintretenden Lichtstrahls in einen Querschnitt (10') überführt wird, der gegenüber dem Querschnitt (10) des eintretenden Lichtstrahls (9) an einer zu der Ausbreitungsrichtung (z) des auf die Vorrichtung (3) auftreffenden Lichtstrahls (9) parallelen Ebene (S) gespiegelt erscheint. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Anordnung mit einer Vorrichtung (3) zur Strahltransformation, vermittels der ein von einem Laserdiodenbarren ausgehender Lichtstrahl (9) auf eine Lichtleitfaser abgebildet werden kann.
Abstract translation: 装置，用于与至少一个入口表面（13）和至少一个出射表面（14），通过其将被变换光束（9）穿过光束变换，其中，所述装置（3）是用于光束变换自具有至少一个光学双折射材料 定向的轴这样的装置的进入面（13）和出射表面（14）（3）由该设备相反的（3）通过踢光束（9）的反射装置（3）内进行，从而使横截面 （10）在其以相对于入射光束（9）的横截面（10）到所述设备的传播方向（z）的装置（3）进入所述光束变换的光束被传输到的横截面（10“） （3）出现镜像入射光束（9）平行的平面（S）。 此外，本发明涉及一种具有用于光束变换的装置（3）的布置中，由一个激光二极管条出射光束（9）的装置可以被映射到光纤。
-
公开(公告)号：WO2019149725A1
公开(公告)日：2019-08-08
申请号：PCT/EP2019/052187
申请日：2019-01-30
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH , PATRA, Michael , HORN, Jan , ZOTT, Andy , DAVYDENKO, Vladimir
Inventor： PATRA, Michael , HORN, Jan , ZOTT, Andy , DAVYDENKO, Vladimir
CPC classification number: G01S17/32 , G01S7/491 , G01S7/4913 , G01S7/4917
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Ermitteln eines Abstandes eines bewegten Objekts. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist einen Sender (110) zum Aussenden eines optischen Sendersignals (111), wobei das Sendersignal eine zeitlich variierende Frequenz (ω s (t)) aufweist, einen Detektor (150) zur Erzeugung eines Detektorsignals aus einer Überlagerung eines ersten Teilsignals (121) und eines zweiten Teilsignals (122), wobei das erste Teilsignal (121) und das zweite Teilsignal (122) durch Zerlegung des Sendersignals (111) hervorgegangen sind, wobei das erste Teilsignal (121) ohne vorherige Reflexion an dem Objekt (105) zum Detektor (150) gelangt und wobei das zweite Teilsignal (122) nach Reflexion an dem Objekt (105) zum Detektor (150) gelangt, wobei das Detektorsignal für die Differenzfrequenz (Δω) zwischen der Frequenz des zweiten Teilsignals (122) und der Frequenz des ersten Teilsignals (121) charakteristisch ist, und eine Auswerteeinrichtung (160) auf, welche dazu ausgelegt ist, aus dem zeitlichen Verlauf der Differenzfrequenz (Δω(t)) sowie dem zeitlichen Verlauf der Frequenz (ω s (t)) des Sendersignals selbstkonsistent den zeitlichen Verlauf von Abstand d(t) und Geschwindigkeit v(t) des Objektes zu bestimmen.
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2006058754A3
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：PCT/EP2005/012857
申请日：2005-12-01
Applicant: CARL ZEISS SMT AG , KUSS, Matthias , FIOLKA, Damian , REISINGER, Gerd , MAUL, Manfred , DAVYDENKO, Vladimir
Inventor： KUSS, Matthias , FIOLKA, Damian , REISINGER, Gerd , MAUL, Manfred , DAVYDENKO, Vladimir
IPC: G03F7/20
Abstract: A beam delivery system (21) of a projection exposure system (1) comprises a laser (23) generating a beam (25) of laser light from a comprises a laser generating a beam of laser light from a plurality of longitudinal laser modes in a cavity, wherein light generated by a single longitudinal laser mode has an average line width λ lat, wherein the laser light of the beam has, at each of respective lateral positions of the beam, a second line width λ lat corresponding to lateral laser modes, and wherein the laser light of the beam has, when averaged over a whole cross section thereof, a line width λ b corresponding to plural lateral laser modes, and wherein λm lat b, and wherein an optical delay apparatus (27) disposed in the beam provides and optical path difference ,Δ1 wherein (I); wherein λ 0 is an average wavelength of the light of the first beam of laser light, and Δλ lat represents the second line width.
-
公开(公告)号：WO2002101437A3
公开(公告)日：2002-12-19
申请号：PCT/EP2002/004087
申请日：2002-04-12
Inventor： DAVYDENKO, Vladimir
IPC: G02B6/42
Abstract: Vorrichtung zur optischen Strahltransformation mit mindestens einer Eintrittsfläche (13) und mindestens einer Austrittsfläche (14), durch die ein zu transformierender Lichtstrahl (9) hindurchtreten kann, wobei die Vorrichtung (3) zur optischen Strahltransformation aus einem doppelbrechenden Material besteht, dessen mindestens eine optische Achse derart gegenüber der Eintrittsfläche (13) und der Austrittsfläche (14) der Vorrichtung (3) orientiert ist, dass ein durch die Vorrichtung (3) hindurchtretender Lichtstrahl (9) im Innern der Vorrichtung (3) eine Reflektion erfährt, so dass der Querschnitt (10) des in die Vorrichtung (3) zur optischen Strahltransformation eintretenden Lichtstrahls in einen Querschnitt (10') überführt wird, der gegenüber dem Querschnitt (10) des eintretenden Lichtstrahls (9) an einer zu der Ausbreitungsrichtung (z) des auf die Vorrichtung (3) auftreffenden Lichtstrahls (9) parallelen Ebene (S) gespiegelt erscheint. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Anordnung mit einer Vorrichtung (3) zur Strahltransformation, vermittels der ein von einem Laserdiodenbarren ausgehender Lichtstrahl (9) auf eine Lichtleitfaser abgebildet werden kann.
-
公开(公告)号：WO2020064224A1
公开(公告)日：2020-04-02
申请号：PCT/EP2019/072229
申请日：2019-08-20
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH , DAVYDENKO, Vladimir , WEIMANN, Claudius
Inventor： DAVYDENKO, Vladimir , WEIMANN, Claudius
Abstract: Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist eine Lichtquelle (110, 210) zum simultanen Aussenden einer Mehrzahl von optischen Signalen mit jeweils zeitlich variierender Frequenz, wobei sich diese Signale hinsichtlich des Frequenzbereichs, innerhalb dessen diese zeitliche Variation stattfindet, voneinander unterscheiden, eine Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts (140, 240) auf Basis von aus den optischen Signalen jeweils hervorgegangenen, an dem Objekt (140, 240) reflektierten Messsignalen (121, 221) und nicht an dem Objekt (140, 240) reflektierten Referenzsignalen (122, 222), und ein dispersives Element (130, 230) auf, welches eine vom jeweiligen Frequenzbereich abhängige Winkelverteilung der zu dem Objekt (140, 240) gelenkten Messsignale (121, 221) bewirkt.
-
公开(公告)号：WO2020011586A1
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：PCT/EP2019/067637
申请日：2019-07-01
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS AG , DAVYDENKO, Vladimir , ZOTT, Andy , HÖLLER, Frank , HORN, Jan
Inventor： DAVYDENKO, Vladimir , ZOTT, Andy , HÖLLER, Frank , HORN, Jan
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur scannenden Abstandsermittlung eines Objekts. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist eine Lichtquelle (210, 310) zum Aussenden eines optischen Signals mit zeitlich variierender Frequenz, eine Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts auf Basis eines aus dem Signal hervorgegangenen, an dem Objekt reflektierten Messsignals und eines nicht an dem Objekt reflektierten Referenzsignals, und ein dispersives Element (230, 334), welches eine frequenzselektive Winkelverteilung des Messsignals bewirkt, wobei hierdurch erzeugte Teilsignale unter voneinander verschiedenen Winkeln zu dem Objekt gelenkt werden auf, wobei die Auswerteeinrichtung weiter zur Ermittlung einer Geschwindigkeit des Objekts auf Basis von jeweils zwei Differenzfrequenz- Bestimmungen zwischen jeweils einem an dem Objekt reflektierten Messsignal und einem nicht an dem Objekt reflektierten Referenzsignal ausgelegt ist, wobei die für diese beiden Differenzfrequenz-Bestimmungen herangezogenen Messsignale sich hinsichtlich der die jeweilige Zeitabhängigkeit ihrer Frequenz beschreibenden Funktion voneinander unterscheiden.
-
公开(公告)号：WO2019170703A2
公开(公告)日：2019-09-12
申请号：PCT/EP2019/055498
申请日：2019-03-06
Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS AG , DAVYDENKO, Vladimir , HÖLLER, Frank , ZOTT, Andy
Inventor： DAVYDENKO, Vladimir , HÖLLER, Frank , ZOTT, Andy
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur scannenden Abstandsermittlung eines Objekts, mit einer Lichtquelle (110, 210, 310, 610) zum Aussenden eines optischen Signals (111, 211, 311) mit zeitlich variierender Frequenz, einer Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts (140, 240, 340) auf Basis eines aus dem Signal hervorgegangenen, an dem Objekt reflektierten Messsignals (121, 221, 321) und eines nicht an dem Objekt reflektierten Referenzsignals (122, 222, 322), und einem dispersiven Element (131, 231, 331, 620), welches eine frequenzselektive Winkelverteilung des Messsignals (121, 221, 321) bewirkt, wobei hierdurch erzeugte Teilsignale unter voneinander verschiedenen Winkeln zu dem Objekt (140, 240, 340) gelenkt werden.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
14
records
(took 0.009 seconds)
