Invention Application
- Patent Title: VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR SCANNENDEN ABSTANDSERMITTLUNG EINES OBJEKTS
- Patent Title (English): APPARATUS AND METHOD FOR DETERMINING THE DISTANCE OF AN OBJECT BY SCANNING
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Application No.: PCT/EP2019/072229Application Date: 2019-08-20
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Publication No.: WO2020064224A1Publication Date: 2020-04-02
- Inventor: DAVYDENKO, Vladimir , WEIMANN, Claudius
- Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH , DAVYDENKO, Vladimir , WEIMANN, Claudius
- Applicant Address: Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- Assignee: CARL ZEISS SMT GMBH,DAVYDENKO, Vladimir,WEIMANN, Claudius
- Current Assignee: CARL ZEISS SMT GMBH,DAVYDENKO, Vladimir,WEIMANN, Claudius
- Current Assignee Address: Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- Agency: FRANK, Hartmut
- Priority: DE10 20180927; DE10 20190705
- Main IPC: G01S7/481
- IPC: G01S7/481 ; G01S7/491 ; G01S17/32 ; G01S17/42 ; G01S17/93
Abstract:
Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist eine Lichtquelle (110, 210) zum simultanen Aussenden einer Mehrzahl von optischen Signalen mit jeweils zeitlich variierender Frequenz, wobei sich diese Signale hinsichtlich des Frequenzbereichs, innerhalb dessen diese zeitliche Variation stattfindet, voneinander unterscheiden, eine Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts (140, 240) auf Basis von aus den optischen Signalen jeweils hervorgegangenen, an dem Objekt (140, 240) reflektierten Messsignalen (121, 221) und nicht an dem Objekt (140, 240) reflektierten Referenzsignalen (122, 222), und ein dispersives Element (130, 230) auf, welches eine vom jeweiligen Frequenzbereich abhängige Winkelverteilung der zu dem Objekt (140, 240) gelenkten Messsignale (121, 221) bewirkt.
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