感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法
Abstract:
本発明により、一般式(P1)で表される繰り返し単位を有する樹脂と、活性光線又は放射線の照射により、pKaが-1.40以上の酸を発生する化合物とを含有する、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、上記組成物を用いたレジスト膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法が提供される。M p は、単結合又は2価の連結基を表す。 L p は、2価の連結基を表す。 X p は、O、S、又はNR N1 を表す。R N1 は1価の有機基を表す。 R p は、1価の有機基を表す。
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