Invention Application
- Patent Title: 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法
- Patent Title (English): ACTINIC-RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, RESIST FILM, METHOD FOR FORMING PATTERN, AND METHOD FOR PRODUCING ELECTRONIC DEVICE
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Application No.: PCT/JP2019/047718Application Date: 2019-12-05
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Publication No.: WO2020129683A1Publication Date: 2020-06-25
- Inventor: 浅川 大輔 , 川島 敬史 , 後藤 研由 , 白川 三千紘 , 山本 慶
- Applicant: 富士フイルム株式会社
- Applicant Address: 〒1068620 東京都港区西麻布2丁目26番30号 Tokyo JP
- Assignee: 富士フイルム株式会社
- Current Assignee: 富士フイルム株式会社
- Current Assignee Address: 〒1068620 東京都港区西麻布2丁目26番30号 Tokyo JP
- Agency: 特許業務法人航栄特許事務所
- Priority: JP2018-239960 20181221
- Main IPC: C08F12/24
- IPC: C08F12/24 ; C08F20/10 ; C08F20/58 ; C08F28/02 ; G03F7/004 ; G03F7/038 ; G03F7/039
Abstract:
本発明により、一般式(P1)で表される繰り返し単位を有する樹脂と、活性光線又は放射線の照射により、pKaが-1.40以上の酸を発生する化合物とを含有する、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、上記組成物を用いたレジスト膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法が提供される。M p は、単結合又は2価の連結基を表す。 L p は、2価の連結基を表す。 X p は、O、S、又はNR N1 を表す。R N1 は1価の有機基を表す。 R p は、1価の有機基を表す。
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