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Invention Application
WO2020184721A1 ガスセンサ、ガスセンサを備える含有成分検知装置、ガスセンサを備える検査システム、ガスセンサの検査方法、ガスセンサの製造方法 审中-公开

  • Patent Title: ガスセンサ、ガスセンサを備える含有成分検知装置、ガスセンサを備える検査システム、ガスセンサの検査方法、ガスセンサの製造方法
  • Patent Title (English): GAS SENSOR, CONTAINED COMPONENT SENSING DEVICE PROVIDED WITH GAS SENSOR, INSPECTION SYSTEM PROVIDED WITH GAS SENSOR, GAS SENSOR INSPECTION METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING GAS SENSOR
  • Application No.: PCT/JP2020/011265
    Application Date: 2020-03-13
  • Publication No.: WO2020184721A1
    Publication Date: 2020-09-17
  • Inventor: 平嶋　大樹 , 望月　秀則 , 村上　貴宣
  • Applicant: 旭化成株式会社
  • Applicant Address: 〒1000006 東京都千代田区有楽町一丁目1番2号 Tokyo JP
  • Assignee: 旭化成株式会社
  • Current Assignee: 旭化成株式会社
  • Current Assignee Address: 〒1000006 東京都千代田区有楽町一丁目１番２号 Tokyo JP
  • Agency: 田中 秀▲てつ▼
  • Priority: JP2019-046295 20190313
  • Main IPC: G01L1/18
  • IPC: G01L1/18 ;  G01L25/00 ;  G01N5/02 ;  G01N19/00 ;  G01N13/00 ;  H01L29/84
ガスセンサ、ガスセンサを備える含有成分検知装置、ガスセンサを備える検査システム、ガスセンサの検査方法、ガスセンサの製造方法
Abstract:
印加された表面応力によって撓む導電性のメンブレン（２２）と、メンブレン（２２）よりも外側に配置された固定部材（２４）と、メンブレン（２２）と固定部材（２４）とを連結する連結部（２６）と、連結部（２６）に起きた撓みに応じて抵抗値が変化する可撓性抵抗（２８）と、固定部材（２４）に接続されてメンブレン（２２）及び連結部（２６）との間に空隙部（４０）を設けて配置される導電性の支持基材（１０）と、メンブレン（２２）の支持基材（１０）と対向する面と反対側の面である表面の中心を含む領域の上に形成され、且つ吸着した物質に応じた変形を生じる受容体（３０）と、メンブレン（２２）に第一の電位を印加可能な第一端子（５０ａ）と、支持基材（１０）に第二の電位を印加可能な第二端子（５０ｂ）と、固定部材（２４）と支持基材（１０）とを電気的に絶縁する絶縁部（６）を備えるガスセンサ。
Abstract(English):

A gas sensor provided with: an electroconductive membrane (22) flexed by an applied surface stress; a fixing member (24) disposed further to the outside than the membrane (22); a linking part (26) for linking the membrane (22) and the fixing member (24); a flexible resistance (28), the resistance value of which varies in accordance with bending occurring in the linking part (26); an electroconductive support substrate (10) connected to the fixing member (24) and disposed so as to be provided in a gap (40) between the membrane (22) and the linking part (26); a receiving body (30) formed on a region including the center of a surface which is a surface on the reverse side from the surface of the membrane (22) facing the support substrate (10), the receiving body (30) producing a deformation corresponding to an adsorbed substance; a first terminal (50a) capable of applying a first potential to the membrane (22); a second terminal (50b) capable of applying a second potential to the support substrate (10); and an insulation part (6) for electrically insulating the fixing member (24) and the support substrate (10).

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