Invention Application
- Patent Title: 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法
- Patent Title (English): RADIATION-SENSTIVE RESIN COMPOSITION AND METHOD OF FORMING RESIST PATTERN
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Application No.: PCT/JP2020/020186Application Date: 2020-05-21
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Publication No.: WO2020250639A1Publication Date: 2020-12-17
- Inventor: 錦織 克聡
- Applicant: JSR株式会社
- Applicant Address: 〒1058640 東京都港区東新橋一丁目9番2号 Tokyo JP
- Assignee: JSR株式会社
- Current Assignee: JSR株式会社
- Current Assignee Address: 〒1058640 東京都港区東新橋一丁目9番2号 Tokyo JP
- Agency: 天野 一規
- Priority: JP2019-111482 20190614
- Main IPC: C07C381/12
- IPC: C07C381/12 ; C08F220/10 ; C08K5/36 ; C08L33/04 ; G03F7/004 ; G03F7/039 ; G03F7/20
Abstract:
露光光に対する感度が良好であり、LWR性能及び解像性に優れるレジストパターンを形成することができる感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法を提供する。フェノール性水酸基を含む第1構造単位及び下記式(1)で表される第2構造単位を有する重合体と、下記式(2)で表される化合物を含む感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物。
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