Invention Application
- Patent Title: 신틸레이터 증착 장비
- Patent Title (English): SCINTILLATOR DEPOSITION APPARATUS
-
Application No.: PCT/KR2020/000946Application Date: 2020-01-20
-
Publication No.: WO2021149841A1Publication Date: 2021-07-29
- Inventor: 이상규 , 최건훈 , 조영수 , 홍훈호
- Applicant: 엘지전자 주식회사
- Applicant Address: 07336 서울시 영등포구 여의대로 128, Seoul
- Assignee: 엘지전자 주식회사
- Current Assignee: 엘지전자 주식회사
- Current Assignee Address: 07336 서울시 영등포구 여의대로 128, Seoul
- Agency: 허용록
- Main IPC: C23C14/56
- IPC: C23C14/56 ; C23C14/50 ; C23C14/24 ; C23C14/22 ; G01T1/20
Abstract:
본 발명의 실시예에 따른 신틸레이터 증착 장비는, 기판의 투입, 이송 및 배출이 이루어지는 진공 챔버; 상기 진공 챔버에 위치되어, 상기 기판을 수평하게 이송하는 트랜스퍼 모듈; 상기 기판에 신틸레이터재의 증착이 이루어지는 증착 챔버가 형성되며, 상기 트랜스퍼 모듈을 기준으로 원주 방향으로 이격 배치되는 복수 개의 증착 장치부; 상기 기판을 상기 진공 챔버 내로 투입하는 로드락 장치부; 및 상기 증착 장치부에서 증착이 완료된 기판을 상기 진공 챔버의 외부로 배출하는 언로드락 장치부를 포함하고, 상기 기판은 상기 트랜스퍼 모듈에 의하여 상기 증착 챔버로 수평하게 투입 또는 상기 증착 챔버로부터 수평하게 배출될 수 있다.
Information query
IPC分类: