Invention Application

신틸레이터 증착 장비
Abstract:
본 발명의 실시예에 따른 신틸레이터 증착 장비는, 기판의 투입, 이송 및 배출이 이루어지는 진공 챔버; 상기 진공 챔버에 위치되어, 상기 기판을 수평하게 이송하는 트랜스퍼 모듈; 상기 기판에 신틸레이터재의 증착이 이루어지는 증착 챔버가 형성되며, 상기 트랜스퍼 모듈을 기준으로 원주 방향으로 이격 배치되는 복수 개의 증착 장치부; 상기 기판을 상기 진공 챔버 내로 투입하는 로드락 장치부; 및 상기 증착 장치부에서 증착이 완료된 기판을 상기 진공 챔버의 외부로 배출하는 언로드락 장치부를 포함하고, 상기 기판은 상기 트랜스퍼 모듈에 의하여 상기 증착 챔버로 수평하게 투입 또는 상기 증착 챔버로부터 수평하게 배출될 수 있다.
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