Invention Application
- Patent Title: 광경화형 조성물, 이의 경화물을 포함하는 코팅층 및 반도체 공정용 기재
- Patent Title (English): PHOTOCURABLE COMPOSITION, COATING LAYER COMPRISING CURED PRODUCT THEREOF, AND SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR PROCESS
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Application No.: PCT/KR2021/009486Application Date: 2021-07-22
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Publication No.: WO2022019677A1Publication Date: 2022-01-27
- Inventor: 김상환 , 최정우 , 서기승 , 서광수 , 박준범 , 조원섭
- Applicant: 주식회사 엘지화학
- Applicant Address: 07336 서울시 영등포구 여의대로 128, Seoul
- Assignee: 주식회사 엘지화학
- Current Assignee: 주식회사 엘지화학
- Current Assignee Address: 07336 서울시 영등포구 여의대로 128, Seoul
- Agency: 특허법인 피씨알
- Priority: KR10-2020-0091287 2020-07-22
- Main IPC: C08G18/44
- IPC: C08G18/44 ; C08G18/10 ; C08F283/00 ; C08F2/50 ; C08J7/04 ; C09D175/14
Abstract:
본 발명은 코팅성이 우수하고 표면 품질과 두께 균일성이 우수한 코팅층을 구현할 수 있는 광경화형 조성물, 광경화형 조성물의 경화물을 포함하는 코팅층, 및 코팅층을 포함하는 반도체 공정용 기재를 제공하는 것이다.
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