Invention Application
- Patent Title: 半导体结构的制造方法和半导体结构
- Patent Title (English): MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR STRUCTURE, AND SEMICONDUCTOR STRUCTURE
-
Application No.: PCT/CN2021/103726Application Date: 2021-06-30
-
Publication No.: WO2022151670A1Publication Date: 2022-07-21
- Inventor: 杨蒙蒙 , 白杰
- Applicant: 长鑫存储技术有限公司
- Applicant Address: 中国安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号, Anhui 230000
- Assignee: 长鑫存储技术有限公司
- Current Assignee: 长鑫存储技术有限公司
- Current Assignee Address: 中国安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号, Anhui 230000
- Agency: 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- Priority: CN202110047944.4 2021-01-14
- Main IPC: H01L21/336
- IPC: H01L21/336 ; H01L21/28 ; H01L29/423 ; H01L29/51 ; H01L29/78 ; H01L27/108
Abstract:
本申请提供一种半导体结构的制造方法和半导体结构,涉及半导体制造技术领域,旨在解决现有的半导体结构制造过程中的热预算较高,且炉管的无定形硅层影响功函数层对晶体管的功函数调节过程的问题。本申请的半导体结构的制造方法包括形成第一堆栈层;在第一堆栈层上设置牺牲层。热退火处理第一堆栈层和牺牲层,第一堆栈层形成第二堆栈层。去除牺牲层和第二堆栈层中的功函数复合层和第一导电层,保留第二堆栈层中的衬底、第二界面层和高介电常数层。在高介电常数层上形成栅极层。本申请能够优化半导体结构的功函数调整过程,提升半导体结构的性能。
Information query
IPC分类: