半導体基板の製造方法及び組成物
Abstract:
エッチング耐性、耐熱性及び曲がり耐性に優れる膜を形成可能な組成物を用いる半導体基板の製造方法及び組成物を提供することを目的とする。基板に直接又は間接にレジスト下層膜形成用組成物を塗工する工程と、上記塗工工程により形成されたレジスト下層膜に直接又は間接にレジストパターンを形成する工程と、上記レジストパターンをマスクとしたエッチングを行う工程とを含み、上記レジスト下層膜形成用組成物が、下記式(1)で表される繰り返し単位を有する重合体と、溶媒とを含有する、半導体基板の製造方法。(式(1)中、Ar1は、環員数5~40の芳香環を有する2価の基である。R0は、環員数5~40の芳香環を有する1価の基であり、下記式(2-1)で表される基及び下記式(2-2)で表される基からなる群より選ばれる少なくとも1つの基を有する。)(式(2-1)及び(2-2)中、R7は、それぞれ独立して、炭素数1~20の2価の有機基又は単結合である。*は芳香環における炭素原子との結合手である。)
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