- 专利标题： VORRICHTUNG ZUR MESSUNG VON POTENTIALEN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SOLCHEN VORRICHTUNG
- 专利标题（英）： DEVICE FOR MEASURING POTENTIALS AND METHOD FOR PRODUCING SUCH A DEVICE
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申请号： PCT/EP2022/082137申请日： 2022-11-16
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公开(公告)号： WO2023088969A1公开(公告)日： 2023-05-25
- 发明人: VITUSEVICH, Svetlana , BOICHUK, Nazarii , WEIHNACHT, Volker
- 申请人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH , FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
- 申请人地址： Wilhelm-Johnen-Straße; Hansastraße 27c
- 专利权人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH,FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
- 当前专利权人： FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH,FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
- 当前专利权人地址： Wilhelm-Johnen-Straße; Hansastraße 27c
- 代理机构： PAUL & ALBRECHT PATENTANWÄLTE PARTG MBB
- 优先权： DE10 2021 129 950.0 2021-11-17
- 主分类号： G01N27/414
- IPC分类号： G01N27/414 ; B82Y15/00 ; H01L29/00
摘要：
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung von Potentialen an einer biologischen, chemischen oder anderen Probe, mit einem Substrat (2) und mindestens einem auf dem Substrat (2) angeordneten Nanodraht (6) aus einem halbleitenden Material, wobei der Nanodraht (6) mit einer Beschichtungsanordnung (11) versehen ist, welche eine Grundbeschichtung (12) aus einem dielektrischen Material umfasst. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung.
