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公开(公告)号:CN1121953A
公开(公告)日:1996-05-08
申请号:CN94118695.4
申请日:1994-10-28
申请人: 奥林帕斯光学工业株式会社
发明人: 白井道雄 , 土野雅道 , 唐木和久 , 鹈泽邦彦 , 板仓昌宏 , 柳泽刚 , 铃木信夫
IPC分类号: C11D7/26
摘要: 将工业用部件等被洗净物的洗净和干燥以没有残渣的状态和不侵蚀被洗净物的方式进行。使用高纯度的低分子硅氧烷将被洗净物洗净,然后进行干燥。此外将完成一般的水系洗净的被洗净物用IPA漂洗,然后用高纯度的低分子硅氧烷进行干燥。
公开(公告)号:CN1064075C
公开(公告)日:2001-04-04
IPC分类号: C11D7/50