公开(公告)号：CN118645447A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202410271859.X

申请日：2024-03-11

申请人： 普列湿有限公司

发明人： 金京洙 ,  黄良豪 ,  金泰雨

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  H01L21/02 ,  F26B11/18 ,  F26B25/00 ,  F26B25/18 ,  F26B21/14 ,  B08B3/02

摘要： 本发明的晶圆干燥装置包括：腔室，侧面固定有第一旋转轴，上部形成有能够移动的第二旋转轴，且下部形成有第一排水口；倾斜臂，以连动的方式固定于上述第一旋转轴和上述第二旋转轴，并且下端部固定有安装至少2个晶圆的晶圆盒；第一喷嘴，在上述腔室内向上述晶圆盒供应IPA/氮气；螺杆，与上述第二旋转轴连接，以使上述第二旋转轴向第一方向或第二方向直线移动的方式沿顺时针方向或逆时针方向交替旋转；驱动电机，使上述螺杆旋转；以及升降部，使上述倾斜臂上升或下降来调节上述晶圆盒的高度，上述倾斜臂可以根据随着上述螺杆的移动而变化的上述第二旋转轴的移动距离和方向而与上述晶圆盒一起改变倾斜的角度和方向。