公开(公告)号：CN101321841B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200680040308.2

申请日：2006-10-27

Applicant: 三井金属鉱业株式会社

Inventor： 瓜生博美 ,  内野义嗣

IPC: C09K3/14

CPC classification number: C09K3/1409 ,  C01F17/0043

Abstract: 本发明的目的是提供氧化铈含量高的高纯度铈系研磨材料，该研磨材料的研磨速度得到了改善。本发明的铈系研磨材料的特征在于，它是相对于全部稀土类氧化物(TREO)的氧化铈的含量为90质量％以上的铈系研磨材料，相对于研磨材料总量，含有0.01～2.0质量％的选自Ti及原子序号80以下的5族～12族的元素的至少1种特定元素。

公开(公告)号：CN101356248A

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN200780001175.2

申请日：2007-02-19

Applicant: 三井金属鉱业株式会社

Inventor： 瓜生博美 ,  山崎秀彦 ,  小林大作 ,  桑原滋

IPC: C09K3/14 ,  C01F17/00 ,  B24B37/00

CPC classification number: C09K3/1409 ,  C01F17/0043 ,  C01P2002/72 ,  C01P2004/61 ,  C03C19/00 ,  C09K3/1463

Abstract: 本发明的目的是提供在研磨损伤的产生得到抑制的同时研磨速度得到大幅改善的铈系研磨材料。本发明的铈系研磨材料的特征在于，它是相对于全部稀土类氧化物(TREO)的氧化铈含量为95质量％以上的铈系研磨材料，利用激光衍射·散射法测得的从小粒径侧开始的累积体积50％的粒径(D50)值为1.3～4.0μm。此外，较好的是本发明的铈系研磨材料通过基于Cu－Kα1射线的X射线衍射分析测定的氧化铈的最大峰的半宽度以2θ计为0.1～0.5°。

公开(公告)号：CN101321841A

公开(公告)日：2008-12-10

申请号：CN200680040308.2

申请日：2006-10-27

Applicant: 三井金属鉱业株式会社

Inventor： 瓜生博美 ,  内野义嗣

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00

CPC classification number: C09K3/1409 ,  C01F17/0043

Abstract: 本发明的目的是提供氧化铈含量高的高纯度铈系研磨材料，该研磨材料的研磨速度得到了改善。本发明的铈系研磨材料的特征在于，它是相对于全部稀土类氧化物(TREO)的氧化铈的含量为90质量％以上的铈系研磨材料，相对于研磨材料总量，含有0.01～2.0质量％的选自Ti及原子序号80以下的5族～12族的元素的至少1种特定元素。