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公开(公告)号:CN100492715C
公开(公告)日:2009-05-27
申请号:CN200310120762.7
申请日:2003-12-01
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/042 , C23C14/12 , G03F1/20 , H01L27/3223 , H01L27/3281 , H01L51/0011
Abstract: 提供了一种蒸发掩模,一种采用此蒸发掩模来制造有机场致发光器件的方法,以及用上述方法制出的有机场致发光器件。蒸发掩模由薄膜形成并通过施加张力来拉紧。蒸发掩模包括至少一个掩模单元,该掩模单元包括多个主开口和多个第一假开口,该第一假开口形成于在对蒸发掩模施加张力的方向上的最外侧主开口的附近。
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公开(公告)号:CN100587996C
公开(公告)日:2010-02-03
申请号:CN03142457.0
申请日:2003-06-02
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/50
Abstract: 一种用于固定薄膜溅射用衬底的装置,包括掩膜、掩膜压板、磁体和驱动单元。具有图案的掩膜位于衬底下方,以便在衬底上形成图案。掩膜压板位于衬底之上并以预定的压力朝向衬底背面运动并与之接触。磁体位于掩膜压板的上方并朝向掩膜压板运动,从而可通过磁体的磁力而使掩膜紧密地粘附在衬底上。驱动单元施加驱动力以移动磁体。当掩膜压板下降时,掩膜压板紧密地粘附在衬底上。之后,磁体朝向衬底背面下降,衬底由掩膜压板支撑。衬底下方的掩膜通过磁体的磁力而紧密地粘附在衬底的正面上。因此,由于衬底被多级式地支撑,掩膜在衬底下方的对齐不会发生错位。
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公开(公告)号:CN100464440C
公开(公告)日:2009-02-25
申请号:CN03147213.3
申请日:2003-06-03
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , H01L51/56
Abstract: 提供了一种用于有机电致发光装置的薄层真空蒸发的掩模框组件,所述掩模框组件能减小因掩模图案尺寸增大所致的蒸发图案中的扭曲,便于蒸发图案的总间距的调节,和防止在不理想的位置发生蒸发。掩模框组件包括具有开口的框和由至少两个单位掩模元件组成的掩模。每个单位掩模元件的两端都固定到框上。单位掩模元件包括单位掩模图案,并在预定的宽度上彼此重叠,形成单个的掩模图案块。每个单位掩模元件在重叠部分中有凹陷的壁,从而使掩模的厚度在单位掩模元件之间的重叠处保持恒定。
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公开(公告)号:CN100484348C
公开(公告)日:2009-04-29
申请号:CN200510084438.3
申请日:2005-07-15
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Inventor: 姜敞皓
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/042 , H01L27/3211 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 用于沉积薄膜的掩模框架组件包括至少两个单元掩模,该单元掩模的端部被耦合到具有窗口的框架,且每个单元掩模包括多个沉积窗口。第一间隙的宽度基本上等于该沉积窗口的宽度且位于该单元掩模之间。
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公开(公告)号:CN101451227B
公开(公告)日:2011-10-12
申请号:CN200810187486.9
申请日:2003-12-01
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/042 , C23C14/12 , G03F1/20 , H01L27/3223 , H01L27/3281 , H01L51/0011
Abstract: 提供了一种有机EL器件,包括:衬底;有效发光区域,其通过在衬底上顺序地堆叠第一电极、包括多个有机发光层的有机薄膜和第二电极来形成,其中有机薄膜可在第一和第二电极的重叠区域处发出光,并且各有机发光层均以第一图案形成;形成在有效发光区域之外的衬底边缘上的端子单元,其具有分别与第一和第二电极相连的多个第一和第二电极端子;形成在衬底上以暴露出端子单元并至少密封了有效发光区域的密封单元;以及形成于有效发光区域之外的假图案区域,其包括以第二图案形成的至少一个假图案层,其中第二图案与第一图案相同。
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