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公开(公告)号:CN102468341A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201110208118.X
申请日:2011-07-19
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01L29/786 , H01L21/336
CPC classification number: H01L29/7869 , H01L27/1225 , H01L27/124 , H01L29/42384
Abstract: 一种氧化物半导体薄膜晶体管包括:栅极电极,栅极电极位于衬底上并具有第一面积;栅极绝缘层,栅极绝缘层位于栅极电极上并覆盖栅极电极;有源层,有源层位于栅极绝缘层上并具有小于第一面积的第二面积;源极电极,源极电极位于有源层上并接触有源层的源极区域;漏极电极,漏极电极位于有源层上并接触有源层的漏极区域;以及钝化层,钝化层覆盖有源层、源极电极、以及漏极电极。