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公开(公告)号：CN102569673A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110341551.0
申请日：2011-11-02
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01L51/56
CPC classification number: C23C14/042 , Y10T29/49863 , Y10T428/24314
Abstract: 本发明提供一种掩膜框架组件、其制造方法及制造有机发光显示器的方法。所述掩膜框架组件包括框架和安装在所述框架上同时在第一方向上被拉伸的掩膜。所述掩膜包括：包括多个沉积图案部分的沉积区域，形成为具有厚度大于所述沉积区域的厚度并且包括在所述沉积区域的两侧上沿第一方向延伸的第一边缘和第二边缘的边缘单元，以及形成为具有厚度大于所述沉积区域的厚度、形成在相邻的沉积图案部分之间并且在第二方向上延伸的两个或更多个肋，其中所述第二方向垂直于所述第一方向。
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公开(公告)号：CN101824591A
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN201010123804.2
申请日：2010-02-25
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C16/042 , C23C14/042
Abstract: 本发明公开了一种沉积掩模，所述沉积掩模包括掩模板以及支撑掩模板的周边的框架。所述框架包括附于掩模板的接触表面以及面对掩模板并与之隔开的非接触表面，非接触表面从接触表面延伸至形成在框架的中心的开口。非接触表面可以相对于掩模板形成锐角。
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公开(公告)号：CN102683618A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110461209.4
申请日：2011-12-26
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Inventor： 李相信
IPC: H01L51/56
CPC classification number: C23C14/042 , B05C21/005 , C23C16/042 , H01L51/0011
Abstract: 本发明公开了一种沉积掩模，所述沉积掩模包括：掩模框架，具有限定在所述掩模框架的中心的开放窗口，并且包括形成在所述掩模框架的外表面中的第一开口和第二开口以及形成在所述掩模框架中的用于将第一开口空间连接到第二开口的第一连接通道；掩模片，放置在所述掩模框架上；其中，所述掩模框架的表面面对掩模片并且包括固定到掩模片的固定区域，其中，第一开口位于所述表面的位于所述固定区域的靠近所述开放窗口的侧部上的区域中。
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公开(公告)号：CN102691031A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201110456767.1
申请日：2011-12-27
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C14/04
CPC classification number: C23C14/042 , C23C16/042
Abstract: 本发明公开了一种沉积掩模。在拉力的作用下放置在掩模框架上的沉积掩模包括由于施加到沉积掩模的拉力而沿行方向和列方向对包括第一初始设计图案和第n初始设计图案在内的第一初始设计图案至第n初始设计图案进行校正得到的第一校正图案至第n校正图案，第一初始设计图案至第n初始设计图案沿第一方向顺序地布置，其中，第一校正图案至第n校正图案的最外侧包括沿与第一方向平行的方向延伸的第一最外侧和沿与第一方向垂直的第二方向延伸的第二最外侧，其中，第一最外侧具有第一曲率并且相对于第一初始设计图案和第n初始设计图案向内凹进，第二最外侧具有第二曲率并且相对于第一初始设计图案至第n初始设计图案向外凸出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102586726A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110434725.8
申请日：2011-12-15
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Inventor： 李相信
CPC classification number: C23C14/042 , B05B12/20 , B05C21/005 , C23C14/12 , C23C16/042 , H01L51/0011
Abstract: 本发明提供了一种用于薄膜沉积的掩模框架组件，该掩模框架组件包括：框架；掩模，包括沉积图案并固定到框架上；其中，空气隧道形成在框架和掩模的连接部分中。因此，在执行清洗和干燥工艺的过程中在框架和掩模之间的间隙中可有助于清洗液体的蒸发，以尽快再利用掩模框架组件。因此，可减少残留的清洗液体的量，从而缩短准备利用掩模框架组件的后续工艺所需的时间。
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公开(公告)号：CN102593377A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110398155.1
申请日：2011-12-05
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Inventor： 李相信
IPC: H01L51/56 , C23C16/455
CPC classification number: B23P17/00 , C23C14/04 , C23C14/042 , G01B11/02 , H01L51/0011 , H01L51/56 , Y10T29/49778 , Y10T29/4978
Abstract: 本申请公开了一种对准主玻璃件及其制造方法和拉紧气相沉积掩膜的方法。一种用于对准气相沉积掩膜的多个开口以拉紧所述气相沉积掩膜的对准主玻璃件，该对准主玻璃件包括透明基板和位于所述透明基板的至少一个表面上的反射膜图案，所述反射膜图案仅位于与所述气相沉积掩膜的所述多个开口相对应的位置处。
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公开(公告)号：CN101864552A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN201010161616.9
申请日：2010-04-14
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: B05C11/00 , C23C14/042 , H01L51/0011 , H01L51/56 , Y10T29/49826 , Y10T29/49885 , Y10T156/10
Abstract: 本发明提供了一种用于薄膜沉积的掩模框架组件，所述组件包括：框架，包括开口部分和支撑部分；掩模，具有在与所述开口部分对应的位置处的沉积区，其中，所述掩模包括第一层和第二层，所述第一层包括所述沉积区和设置在所述沉积区外部的外围部分，所述第二层包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第二层的第一表面的至少一部分面向所述第一层并接触所述外围部分，所述第二表面被焊接到所述框架的支撑部分。
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公开(公告)号：CN102023474B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201010248758.9
申请日：2010-08-06
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , B05C21/005 , Y10T156/10
Abstract: 本发明提供一种掩模组件、其制造方法及用于平板显示器的沉积装置。掩模组件包括具有多个第一开口的开口掩模和结合到开口掩模的图案掩模，图案掩模具有设置在由第一开口限定的区域内的多个第二开口，其中，开口掩模由具有比图案掩模的热膨胀系数低的热膨胀系数的材料形成。
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公开(公告)号：CN102023474A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010248758.9
申请日：2010-08-06
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , B05C21/005 , Y10T156/10
Abstract: 本发明提供一种掩模组件、其制造方法及用于平板显示器的沉积装置。掩模组件包括具有多个第一开口的开口掩模和结合到开口掩模的图案掩模，图案掩模具有设置在由第一开口限定的区域内的多个第二开口，其中，开口掩模由具有比图案掩模的热膨胀系数低的热膨胀系数的材料形成。
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