公开(公告)号：CN102560336A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110422163.5

申请日：2011-12-09

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 申义信 ,  朴宰奭 ,  曹永根 ,  金玗冬 ,  金圭范 ,  许晸宇

IPC: C23C14/04 ,  C23C16/04

CPC classification number: G03F1/00 ,  C23C14/042 ,  H01L51/0011 ,  Y10T29/49826 ,  Y10T156/10

Abstract: 公开了采用多个条状分割掩模板的掩模板框架组装件。公开的掩模板框架组装件包括多个分割掩模板，所述多个分割掩模板具有与单位画面对应的、用于沉积的图案，各个分割掩模板被形成为，多个部分掩模板得以结合以形成与单位画面对应的用于沉积的图案。根据这种结构，可以在未增加蚀刻误差的负担的情况下简单地制造能够容纳与大型画面对应的图案的分割掩模板。