储料器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101992924A

    公开(公告)日:2011-03-30

    申请号:CN201010254935.4

    申请日:2010-08-13

    Inventor: 郑基菜

    CPC classification number: H01L21/67769

    Abstract: 本发明涉及一种储料器和一种具有机械臂的储料器的集尘单元。该储料器包括:具有多个接纳搁板的主体单元;将待移动的接纳材料传递到所述主体单元的传递单元;将通过所述传递单元传递的接纳材料堆叠在所述主体单元的所述多个接纳搁板中的其中一个上的机械臂;以及和所述机械臂一起移动从而将微粒从所述主体单元内除去的集尘单元。

    储料器系统和管理储料器的方法

    公开(公告)号:CN101870399A

    公开(公告)日:2010-10-27

    申请号:CN201010116356.3

    申请日:2010-02-11

    Inventor: 郑基菜

    CPC classification number: H01L21/67265 H01L21/67769 H01L21/67778

    Abstract: 本发明涉及一种储料器系统及管理储料器的方法,该储料器系统包括储料器、机架主导装置和易于检查储料器搁架的传感器。储料器包括搁架,产品装载在该搁架上。机架主导装置包括主体部分和连接到所述主体部分的臂部分,其用以将产品移向储料器或从储料器移走。当臂部分移动到搁架上方或下方且该传感器单元布置在臂部分上时,传感器单元朝向搁架。传感器单元包括不与臂部分接触的端面。在传感器单元的端面上布置多个位移传感器以在多个位置测量传感器单元与搁架之间的相对位置。

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