公开(公告)号：CN101167160B

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN200580049572.8

申请日：2005-08-26

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 马丁·P.·罗森布拉姆 ,  楚希 ,  洛伦扎·莫罗 ,  肯尼思·J.·纳尔逊 ,  保罗·巴罗斯 ,  马克·E.·格罗斯 ,  马克·R.·祖姆霍夫 ,  彼得·M.·马丁 ,  查尔斯·C.·邦哈姆 ,  戈登·L.·格拉夫

IPC: H01L21/00 ,  H01L51/00

CPC classification number: C23C14/568 ,  B05D1/60 ,  B05D3/067 ,  B05D7/52 ,  H01L21/67155 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/67236 ,  H01L51/0001 ,  H01L51/001 ,  H01L51/5237 ,  H01L51/5256 ,  H01L51/56 ,  H01L2251/5338

Abstract: 本发明提供一种用于将多层涂层沉积到衬底上的工具。在一种配置中，该工具包括工作在压力控制或温度控制环境的至少一种下的直列式有机材料沉积台。在另外一种配置中，它还是同时包含直列工具和集束型工具特征的混合设计。在后一种配置中，至少一个沉积台被配置为沉积无机层，而至少一个其它沉积台被配置为沉积有机层。该工具尤其适合于将多层涂层沉积到分离衬底上，还适合于封装被放置于柔性衬底上的环境敏感器件。可以包括安全系统以监控有机材料向工具的分配。