公开(公告)号：CN105518041A

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201480048455.9

申请日：2014-09-03

Applicant: 三菱丽阳株式会社

Inventor： 安田敦 ,  中条美帆

IPC: C08F220/28 ,  C08F2/00 ,  G03F7/039

Abstract: 一种光刻用共聚物，其特征在于，其浊度Th(80)为1.0以上、4.6NTU以下，并且浊度Tm(80)为1.0以上、3.8NTU以下，该浊度Th(80)是这样的浊度，将在丙二醇单甲醚乙酸酯溶液中添加正庚烷时使浊度成为10NTU的正庚烷添加量设为(X)h，该丙二醇单甲醚乙酸酯溶液中，光刻用共聚物的含量相对于丙二醇单甲醚乙酸酯溶液的总质量为20wt％，该浊度Th(80)是将该(X)h的80％的量的正庚烷添加到该丙二醇单甲醚乙酸酯溶液中时的、该丙二醇单甲醚乙酸酯溶液的浊度；该浊度Tm是这样的浊度，将在丙二醇单甲醚乙酸酯溶液中添加甲醇时使浊度成为5.0NTU的甲醇添加量设为(X)m，该丙二醇单甲醚乙酸酯溶液中，该光刻用共聚物的含量相对于丙二醇单甲醚乙酸酯溶液的总质量为20wt％，该浊度Tm是将该(X)m的80％的量的甲醇添加到该丙二醇单甲醚乙酸酯溶液中时的、该丙二醇单甲醚乙酸酯溶液的浊度。

公开(公告)号：CN104159937B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201380012848.X

申请日：2013-03-05

Applicant: 三菱丽阳株式会社

Inventor： 安田敦 ,  押切友也 ,  中条美帆

IPC: C08F220/12 ,  C08F2/00 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08F24/00 ,  C08F220/18 ,  C08F220/20 ,  C09D4/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/20

Abstract: 一种光刻用共聚物，具有含有酸离去基团的单体单元和不含酸离去基团的单体单元，将在通过GPC得到的洗脱曲线中显示出共聚物涉及的色谱峰的洗脱液，按照洗脱顺序，分成体积均等的5个组分，其中，将最先洗脱的第1个至第4个的各组分中所含有的共聚物中的含有酸离去基团的单体单元的比率设为N(v1)～N(v4)摩尔％、5个组分合计所含有的共聚物中的含有酸离去基团的单体单元的比率设为Nave摩尔％时，N(v1)/Nave为1.01～1.09，N(v2)/Nave、N(v3)/Nave及N(v4)/Nave均为0.95～1.05。

公开(公告)号：CN104159937A

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201380012848.X

申请日：2013-03-05

Applicant: 三菱丽阳株式会社

Inventor： 安田敦 ,  押切友也 ,  中条美帆

IPC: C08F220/12 ,  C08F2/00 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08F24/00 ,  C08F220/18 ,  C08F220/20 ,  C09D4/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/20

Abstract: 一种光刻用共聚物，具有含有酸离去基团的单体单元和不含酸离去基团的单体单元，将在通过GPC得到的洗脱曲线中显示出共聚物涉及的色谱峰的洗脱液，按照洗脱顺序，分成体积均等的5个组分，其中，将最先洗脱的第1个至第4个的各组分中所含有的共聚物中的含有酸离去基团的单体单元的比率设为N(v1)～N(v4)摩尔％、5个组分合计所含有的共聚物中的含有酸离去基团的单体单元的比率设为Nave摩尔％时，N(v1)/Nave为1.01～1.09，N(v2)/Nave、N(v3)/Nave及N(v4)/Nave均为0.95～1.05。