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公开(公告)号：CN116625193A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310588296.2
申请日：2023-05-23
申请人： 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测信息科技有限公司
IPC分类号： G01B5/02
摘要： 本发明涉及一种基于共聚焦显微镜的量块测量装置及方法，通过采用两台共聚焦显微镜直接定位量块的两个测量面，实现量块长度的测量，无需借助辅助面，避免了采用其他原理单方向测量时存在的量块与辅助面研合间隙造成的测量误差，结果更为准确可靠。本发明涉及的一种基于共聚焦显微镜的量块测量装置采用两台共聚焦显微镜对顶测量的方式，通过定位量块两个测量面实现测量，无需进行全范围扫描，仅需在量块的测量面附近进行慢速扫描，其余位置均可快速移动，在测量长度较长的量块时，可有效提升测量效率。
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公开(公告)号：CN117629067A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311628512.8
申请日：2023-11-30
摘要： 本发明提供一种基于探针干涉的三维微接触测头，包括探测组件、悬挂组件和传感单元，探测组件的下端形成测球，测球用于与样品表面相接触；悬挂组件将探测组件悬挂在空中；测球不受外力时，悬挂组件使探测组件的水平基准面保持水平；测球受外力时，悬挂组件限制探测组件只能沿中心轴线的方向上下移动或以转动中心为中心转动。上述三维微接触测头，可实现兼顾高精度、高动态特性的三维传感测量；通过优化设计，可实现三轴分辨力及刚度各向同性；传感单元和探测组件的分离式设计，使测头具备探测组件的互换性，可根据被测对象灵活更换具有不同尺寸和型号的测针的探测单元。
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公开(公告)号：CN118882484A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411197647.8
申请日：2024-08-29
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 本发明提供一种三维微接触测量封装结构及包含其的三维测量装置，该封装结构包括探测模块、多个探测器和安装台，探测模块包括相对固定的测针和反射镜体，测针的下端用于与样品表面相接触并跟随样品的表面起伏移动，反射镜体设有若干反射面；探测器与反射镜体的反射面对应设置，探测器用于探测反射镜体的反射面的位移；探测模块、探测器固定在安装台上，安装台还用于与测量平台相固定。探测模块、探测器固定在安装台上，使探测模块、探测器形成一个整体的封装结构，使封装结构可作为一个整体安装在测量平台上，快速实现了探测模块、探测器与测量平台安装，使一种测量方案可以方便地适配多个测量平台，一个测量平台也可以适配多种测量方案。
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公开(公告)号：CN112782839A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202110201102.X
申请日：2021-02-23
申请人： 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测信息科技有限公司
摘要： 本发明涉及的一种角度可调的高精度载物台装置，在本发明的一种角度可调的高精度载物台装置中，底座与载物台之间通过固定支承柱及两个活动支承柱三点支承，通过两个驱动机构分别驱动两个滑动杆使得滑动杆前端的斜坡面将两个顶珠顶起不同高度，从而使得载物台的位姿得以调节，由于滚珠及顶珠均与运动零件滚动摩擦，所以摩擦力小，不会发生窜动，使得载物台的位姿调整顺畅平稳。由此可见，本发明的一种角度可调的高精度载物台装置能够方便地调整载物台的位姿，结构简单，运动平稳顺畅。
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公开(公告)号：CN214335358U
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202120396080.2
申请日：2021-02-23
申请人： 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测信息科技有限公司
摘要： 本实用新型涉及的一种角度可调的高精度载物台装置，在本实用新型的一种角度可调的高精度载物台装置中，底座与载物台之间通过固定支承柱及两个活动支承柱三点支承，通过两个驱动机构分别驱动两个滑动杆使得滑动杆前端的斜坡面将两个顶珠顶起不同高度，从而使得载物台的位姿得以调节，由于滚珠及顶珠均与运动零件滚动摩擦，所以摩擦力小，不会发生窜动，使得载物台的位姿调整顺畅平稳。由此可见，本实用新型的一种角度可调的高精度载物台装置能够方便地调整载物台的位姿，结构简单，运动平稳顺畅。
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公开(公告)号：CN221223684U
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202323260504.0
申请日：2023-11-30
摘要： 本实用新型提供一种基于探针干涉的三维微接触测头，包括探测组件、悬挂组件和传感单元，探测组件的下端形成测球，测球用于与样品表面相接触；悬挂组件将探测组件悬挂在空中；测球不受外力时，悬挂组件使探测组件的水平基准面保持水平；测球受外力时，悬挂组件限制探测组件只能沿中心轴线的方向上下移动或以转动中心为中心转动。上述三维微接触测头，可实现兼顾高精度、高动态特性的三维传感测量；通过优化设计，可实现三轴分辨力及刚度各向同性；传感单元和探测组件的分离式设计，使测头具备探测组件的互换性，可根据被测对象灵活更换具有不同尺寸和型号的测针的探测单元。
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公开(公告)号：CN220398407U
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202321259010.8
申请日：2023-05-23
申请人： 上海市计量测试技术研究院 , 上海计测信息科技有限公司
IPC分类号： G01B5/02
摘要： 本实用新型涉及一种基于共聚焦显微镜的量块测量装置，通过采用两台共聚焦显微镜直接定位量块的两个测量面，实现量块长度的测量，无需借助辅助面，避免了采用其他原理单方向测量时存在的量块与辅助面研合间隙造成的测量误差，结果更为准确可靠。本实用新型涉及的一种基于共聚焦显微镜的量块测量装置采用两台共聚焦显微镜对顶测量的方式，通过定位量块两个测量面实现测量，无需进行全范围扫描，仅需在量块的测量面附近进行慢速扫描，其余位置均可快速移动，在测量长度较长的量块时，可有效提升测量效率。
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公开(公告)号：CN115372368A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211002888.3
申请日：2022-08-19
申请人： 上海市计量测试技术研究院
摘要： 本发明涉及一种亚表面多参数纳米标准样板及其制备方法，包括用于定位寻找校准位置的X向循迹标记、Y向循迹标记和对准标记，用于校准的Z向台阶校准区域、一维栅格校准区域和二维栅格校准区域，使用本发明的一种亚表面多参数纳米标准样板进行仪器校准时，可借助循迹标记和对准标记快速分辨当前位置并定位到待测区域，可用于共聚焦显微镜、白光干涉显微镜、超声原子力显微镜等亚表面测量仪器的校准及溯源，为亚表面几何参数测量中的量值准确性提供保障，助力半导体、精密制造、国防军工等战略性新兴产业的发展，具有高度产业利用价值。
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公开(公告)号：CN110726378A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201911100142.4
申请日：2019-11-12
申请人： 上海市计量测试技术研究院
摘要： 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法，在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后，将测端球沿被测样品的表面接触扫描；测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化，从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量；根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。
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公开(公告)号：CN110726378B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN201911100142.4
申请日：2019-11-12
申请人： 上海市计量测试技术研究院
摘要： 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法，在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后，将测端球沿被测样品的表面接触扫描；测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化，从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量；根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。
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