一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法

    公开(公告)号:CN110726378B

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN201911100142.4

    申请日:2019-11-12

    IPC分类号: G01B11/24 G01B11/00

    摘要: 本发明涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置及方法,在利用本发明的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时,开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后,将测端球沿被测样品的表面接触扫描;测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化,从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量;根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。

    一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置

    公开(公告)号:CN117006950A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202311081467.9

    申请日:2023-08-25

    IPC分类号: G01B11/02 G01B9/02

    摘要: 本发明为一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置,包括准直光源、置于所述准直光源光路上的光电探测模块、与所述光电探测模块位置对应的待校准的纳米位移台、置于所述待校准的纳米位移台上的光栅、与所述光电探测模块电路连接的信号处理系统以及与所述待校准的纳米位移台电路连接的位移台驱动系统,所述位移台驱动系统驱动待校准的纳米位移台带动光栅同步运动,所述的光电探测模块设有用于采集干涉信号的光电探测器,所述光电探测器采集的干涉信号转化为电流信号传输至信号处理系统,由信号处理系统对干涉信号进行数据处理,获得光栅和待校准的纳米位移台的位移信息。

    一种多仪器组合测量系统的校准方法

    公开(公告)号:CN113310445A

    公开(公告)日:2021-08-27

    申请号:CN202110576171.9

    申请日:2021-05-26

    IPC分类号: G01B21/00 G01B21/02

    摘要: 本发明涉及一种多仪器组合测量系统的校准方法,采用多齿分度台作为标准器校准多仪器组合测量系统的坐标系旋转误差;采用带有激光干涉仪的直线导轨作为标准器校准多仪器组合测量系统的坐标系平移误差;采用长度标尺作为标准器校准多仪器组合测量系统的公共测量点和非公共测量点的空间距离长度误差。本发明弥补了现有单台测量仪器的校准方法不能直接应用于多仪器组合测量系统的校准的问题,保障了多仪器组合测量系统的量值统一、准确可靠,助力多仪器组合测量系统的研发升级和现场应用。

    基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法

    公开(公告)号:CN111487441A

    公开(公告)日:2020-08-04

    申请号:CN202010451028.2

    申请日:2020-05-25

    IPC分类号: G01Q60/24 G01Q10/00

    摘要: 本发明涉及一种基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法,原子力显微镜扫描头固定设置,在测量过程中静止不动,原子力显微镜扫描头扫描测量被测物体表面的轮廓面参数并生成检测信号,原子力显微镜信号调理装置将检测信号调理之后传递给平台控制器,平台控制器根据检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头沿着被测物体表面扫描检测,计算机对检测信号进行处理而得出被测物体表面轮廓的参数。由此可见,本发明的一种基于原子力显微镜的测量装置及台阶面测量方法,能够方便地进行测量,测量过程中,原子力显微镜扫描头保持静止,避免了振动导致的测量误差,提高了测量准确性。

    球棒球心距检测装置及其检测方法

    公开(公告)号:CN105066939A

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201510469248.7

    申请日:2015-08-03

    IPC分类号: G01B21/16 G01B21/04

    CPC分类号: G01B21/16 G01B21/04

    摘要: 本发明提供了一种球棒球心距检测装置及其检测方法,包括:基体,包含:导轨以及分别固定在导轨两端的两个支架;固定支撑部,固定在导轨上用于支撑球体;两个移动支撑部,分别设在固定支撑部两侧,每个移动支撑部包含:可移动式安装在导轨上用于支撑球体的球体侧支撑单元、以及可移动式安装在导轨上设在固定支撑部和球体侧支撑单元之间用于支撑球杆的球棒侧支撑单元;两个测量部,分别与两个球体侧支撑单元一一对应且安装在两个支架上,基于预定测量规则分别测量出其中一个球体侧支撑单元移动的第一距离和另一个球体侧支撑单元移动的第二距离;以及计算部,根据第一距离和第二距离计算出球心距。

    可调节偏心距的高精度标准偏心轴

    公开(公告)号:CN103398087B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201310343076.X

    申请日:2013-08-07

    IPC分类号: F16C3/18

    摘要: 本发明公开了一种可调节偏心距的标准偏心轴,包括主轴,主轴一侧具有外螺纹段,另一侧具有轴肩,外螺段套装有垫圈和可与外螺纹段拧合的锁紧螺母,所述外螺纹段和轴肩之间有两个斜面,两斜面之间成60度角,距离主轴线距离相同且与轴体对称;在轴肩和垫圈之间依次套装有轴套、隔离套和轴套,所述轴套成环状,且环内有两个相互间成60度角的平面,两平面和主轴两斜面相匹配,在对应平面和斜面内分别放置一对可更换的相同高度的标准厚度块。本发明可达到偏心距的精确调整,通过标准厚度块的改变,可实现约定的标准偏心距,消除了人为调节的影响,在同一标准偏心轴上,可以实现快速的测量校准,结构简单可靠。

    一种用于检定两光栅平行性的装置

    公开(公告)号:CN116558447A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310592305.5

    申请日:2023-05-24

    IPC分类号: G01B11/26

    摘要: 本发明为一种用于检定两光栅平行性的装置,包括同光轴布置的第一光栅、第二光栅、激光器、小孔光阑、半透半反棱镜、五角棱镜和观察屏,所述装置包括调节栅面平行和调节栅线平行两部分,利用第一光栅和第二光栅的镜面反射,通过调节第一光栅和第二光栅的偏摆角度,使照射在观察屏上的两束光斑在处于同一水平直线,实现两光栅栅面平行调整,利用第一光栅和第二光栅的衍射效应,通过调节第一光栅和第二光栅的绕水平方向旋转的旋转角度,使照射在观察屏上的两束光斑在处于同一竖直方向直线,实现两光栅栅线平行调整。本发明结构简单,原理易懂,便于操作实现。

    一种基于激光椭偏系统的薄膜厚度测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN115112028A

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN202210957257.0

    申请日:2022-08-10

    IPC分类号: G01B11/06

    摘要: 本发明为一种基于激光椭偏系统的薄膜厚度测量装置及测量方法,属于纳米薄膜厚度的光学测量领域。本发明装置依次为激光光源、滤光轮、光隔离器、反射镜组、起偏调制模块、样品台、检测调制模块和信号采集处理模块;所述激光光源发出激光光束,激光光束依次经所述滤光轮、光隔离器和反射镜组后以入射角θ输出进入起偏调制模块,形成调制偏振光入射到样品台上的待测样品后反射进入检偏调制模块进行偏振态调制,最后进入信号采集处理模块被所述硅探测器接收;所述信号采集单元将所述硅探测器接收到的光强信号转换为数字信号,并进行数据处理。

    一种双砝码传送、交替加载的装置

    公开(公告)号:CN111792363A

    公开(公告)日:2020-10-20

    申请号:CN202010661541.4

    申请日:2020-07-10

    IPC分类号: B65G47/90 G01G23/01

    摘要: 本发明公开了一种双砝码传送、交替加载的装置,包括:装置主体,包括基座和罩体,罩体安装于所述基座,罩体和基座围绕形成加载空间;工作台,工作台安装于基座,用于放置待测量砝码和/或配衡砝码;质量比较仪,质量比较仪安装于基座,用于测量待测量砝码的质量;砝码传送机构,包括驱动组件和传送臂,驱动组件安装于基座,传送臂安装于驱动组件,驱动组件能够驱动传送臂将待测量砝码和/或所述配衡砝码在工作台与质量比较仪之间传送;其中传送臂的砝码放置部的宽度能够满足两个克组砝码沿着所述砝码放置部的宽度方向并排放置,凹槽能够实现砝码自动定中心,提高砝码测量精度和传送、检测的效率。