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公开(公告)号：CN118858691B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411328059.3
申请日：2024-09-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明涉及光学微腔加速度传感器技术领域，具体是一种大量程腔光力加速度传感器及测量方法。本发明解决了现有光学微腔加速度传感器量程较小、测量精度较低的问题。一种大量程腔光力加速度传感器，包括激光器、电光调制器、分束器、第一光衰减器、1×2光开关、光功率计、第二光衰减器、光环行器、封装盒、平衡光电探测器、示波器、频谱仪、计算机、PID控制器、低通滤波器、压控振荡器；封装盒的顶壁贯通开设有透光微孔；封装盒的内腔封装有敏感单元；所述敏感单元包括SOI衬底；所述SOI衬底包括自下而上依次层叠的底硅层、氧化层、顶硅层。本发明适用于加速度信号的测量。
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公开(公告)号：CN118137266B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410574609.3
申请日：2024-05-10
Applicant: 中北大学
IPC: H01S1/02
Abstract: 本发明涉及光生微波技术领域，具体是一种基于晶体谐振腔抑制互易性噪声的光生微波源及方法。本发明解决了现有光生微波源结构复杂、实现成本高、产生的微波信号频率稳定性差的问题。一种基于晶体谐振腔抑制互易性噪声的光生微波源，包括第一可调谐激光器、第二可调谐激光器、第一偏振控制器、第二偏振控制器、第一聚焦光纤、第二聚焦光纤、耦合棱镜、晶体谐振腔、锥形光纤、第一分束器、第二分束器、第一光电探测器、第二光电探测器、双踪示波器、合束器；其中，第一可调谐激光器的出射端依次通过第一偏振控制器、第一聚焦光纤与耦合棱镜的第一个入射面连接。本发明适用于精密测量、导航授时等领域。
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公开(公告)号：CN118137266A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410574609.3
申请日：2024-05-10
Applicant: 中北大学
IPC: H01S1/02
Abstract: 本发明涉及光生微波技术领域，具体是一种基于晶体谐振腔抑制互易性噪声的光生微波源及方法。本发明解决了现有光生微波源结构复杂、实现成本高、产生的微波信号频率稳定性差的问题。一种基于晶体谐振腔抑制互易性噪声的光生微波源，包括第一可调谐激光器、第二可调谐激光器、第一偏振控制器、第二偏振控制器、第一聚焦光纤、第二聚焦光纤、耦合棱镜、晶体谐振腔、锥形光纤、第一分束器、第二分束器、第一光电探测器、第二光电探测器、双踪示波器、合束器；其中，第一可调谐激光器的出射端依次通过第一偏振控制器、第一聚焦光纤与耦合棱镜的第一个入射面连接。本发明适用于精密测量、导航授时等领域。
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公开(公告)号：CN117330049B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311584967.4
申请日：2023-11-27
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/72
Abstract: 本发明涉及谐振式光学陀螺技术领域，具体是一种基于奇异面的腔内反射高鲁棒性角速度传感器及测量方法。本发明解决了奇异点结构光学陀螺鲁棒性较差的问题。基于奇异面的腔内反射高鲁棒性角速度传感器，包括可调谐窄线宽激光器、第一隔离器、第一光纤耦合器、第一光纤维、第二光纤维、第一分束合束器、第二分束合束器、第三光纤维、第二光纤耦合器、第四光纤维、第五光纤维、第三光纤耦合器、第一光纤环形谐振腔、相位调制器、半透半反镜、第一光电探测器、双踪示波器、计算机、泵浦光源、第二隔离器、
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公开(公告)号：CN115031874A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202210694814.4
申请日：2022-06-20
Applicant: 中北大学
IPC: G01L1/10
Abstract: 本发明涉及谐振式压力传感器，具体是一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器及其制备方法。本发明解决了现有谐振式压力传感器测量精度较低的问题。一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器，包括玻璃基片、UV胶微球谐振腔、光纤锥、偏振控制器、宽带光源、光谱分析仪；其中，玻璃基片的表面喷涂有超疏水涂料层；UV胶微球谐振腔固定于超疏水涂料层的表面；光纤锥的锥区与UV胶微球谐振腔耦合；宽带光源的输出端通过偏振控制器与光纤锥的首端连接；光谱分析仪的输入端与光纤锥的尾端连接。本发明适用于压力的测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114879309A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210694976.8
申请日：2022-06-20
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及片上光纤微腔耦合系统，具体是一种基于湿法腐蚀制作片上光纤微腔耦合系统的方法，该方法是采用如下步骤实现的：步骤一：将光纤的涂覆层中段进行机械剥除；步骤二：对光纤的裸光纤中段进行清洗；步骤三：将光纤的涂覆层两端与硅片的上表面粘接固定；步骤四：将光纤的裸光纤中段腐蚀成为光纤锥；步骤五：调整两个位移台，直至回音壁模式光学微腔与光纤锥的锥区之间实现耦合；步骤六：调整两个位移台，直至回音壁模式光学微腔与光纤锥的锥区之间达到最佳耦合状态；步骤七：制得片上光纤微腔耦合系统。本发明有效解决了现有片上光纤微腔耦合系统制作方法制得的产品体积过大、可靠性差、封装难度高、制作成本高的问题。
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公开(公告)号：CN112066975A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202011019821.1
申请日：2020-09-25
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/72
Abstract: 本发明涉及惯性测量器件，具体是一种基于双谐振腔的陀螺仪与加速度计集成系统及其制备方法。本发明解决了传统的微光学陀螺仪与微光学加速度计难以实现芯片化集成制造封装、容易受到环境中噪声影响的问题。基于双谐振腔的陀螺仪与加速度计集成系统，包括微光学传感结构、锁频与解算系统；所述微光学传感结构包括矩形硅衬底、二氧化硅包层、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第三光纤耦合器、第四光纤耦合器、第五光纤耦合器、直波导、Y波导、第一环形谐振腔、第二环形谐振腔、硼磷硅玻璃包层；所述锁频与解算系统包括窄线宽激光器、第一隔离器、第二隔离器、第三隔离器、第一分束器、第二分束器、声光调制器。本发明适用于惯性导航系统。
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公开(公告)号：CN112066969A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202011104730.8
申请日：2020-10-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/66
Abstract: 本发明涉及惯性测量器件，具体是一种基于光学锁相环的双光源自注入锁定谐振式微光机电陀螺。本发明解决了传统的单光源谐振式微光机电陀螺难以从根本上有效抑制光源的频率噪声及光路中的背散射噪声的问题。基于光学锁相环的双光源自注入锁定谐振式微光机电陀螺，包括第一可调谐激光器、第二可调谐激光器、第一光环行器、第二光环行器、第一分束器、第二分束器、第三分束器、第四分束器、第一波导、第二波导、环形谐振腔、第一合束器、第二合束器、第一光电探测器、第二光电探测器、第三光电探测器、光学锁相环、数据处理模块、数据记录仪。本发明适用于惯性导航系统。
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公开(公告)号：CN118604386B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202411078209.X
申请日：2024-08-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及光机械加速度传感器技术领域，具体是一种高灵敏度光机械加速度传感器及测量方法。本发明解决了现有光机械加速度传感器测量灵敏度较低、测量精度较低的问题。一种高灵敏度光机械加速度传感器，包括第一分布反馈式半导体激光器、电光调制器、掺铒光纤放大器、第二分布反馈式半导体激光器、光纤耦合器、光环行器、封装盒、低通滤波器、光电探测器、示波器、频谱仪、计算机、PID控制器；封装盒的顶壁贯通开设有透光微孔；封装盒的内腔封装有敏感单元；所述敏感单元包括两个底硅层、两个氧化层、三个顶硅层、三个顶二氧化硅层、石墨烯薄膜。本发明适用于加速度信号的测量。
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公开(公告)号：CN118259048A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410468246.5
申请日：2024-04-18
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/093 , G01D5/353
Abstract: 本发明涉及光纤加速度传感器技术领域，具体是一种基于外差干涉结构的光纤加速度传感器及测量方法。一种基于外差干涉结构的光纤加速度传感器，包括窄线宽激光器、隔离器、第一分束器、第一声光调制器、第二分束器、第二声光调制器、第三分束器、第一光环形器、第一光纤、参考单元、第二光环形器、第二光纤、测量单元、第一合束器、第一光电探测器、第二合束器、第二光电探测器、双通道锁相放大器、PC机；所述参考单元包括固定座块、第一反射镜；所述测量单元包括固定框架、两根悬臂梁、质量块、第二反射镜。本发明解决了现有光纤加速度传感器在测量低频加速度时测量误差较大、难以实现小型化的问题，适用于工业控制、医疗监护、航空航天等领域。
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