-
公开(公告)号：CN103050878A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210562686.4
申请日：2012-12-22
申请人： 中国科学院安徽光学精密机械研究所
IPC分类号： H01S3/09
摘要： 本发明公开了一种准分子激光器谐振式充电电源的高精度电压控制方法，前端采用谐振充电电源、后端采用磁开关的准分子激光电源中，谐振电容电压经取样、差分放大和与参考电压比较后驱动泄放电路对电容进行泄放的这种实时精确反馈调节方法。参考电压可以通过手动控制或者单片机输出信号控制，可以通过选择不同的电阻来调节控制的速度和精度。本发明是在谐振充电部分进行精确快速控制的方法，谐振电容电压经取样、差分放大和与参考电压比较后驱动泄放电路对电容进行泄放，可以有效的控制准分子激光器最终的放电电压，达到精确控制输出脉冲能量的目的。
-
公开(公告)号：CN102801093A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210229966.3
申请日：2012-07-04
申请人： 中国科学院安徽光学精密机械研究所
IPC分类号： H01S3/09
摘要： 本发明公开了一种结构紧凑型kHz准分子激光器全固态脉冲激励源，包括直流电源、升压脉冲变压器、磁脉冲压缩开关电路，激励源温度控制系统、油箱，直流电源与滤波电容并联后经半导体开关IGBT连接在升压脉冲变压器初级线圈两端，升压脉冲变压器的次级线圈接入磁脉冲压缩开关电路，升压脉冲变压器及两级磁脉冲压缩开关集成在高压油箱内。本发明替代传统准分子激光器采用闸流管作为主开关的激励源，解决因闸流管的放电寿命有限、残余振荡、预热启动及其老化过程中的自导通等缺点而影响准分子激光器的整体工作性能的问题，满足准分子激光器高重复频率、长寿命、稳定运行需求。
-
公开(公告)号：CN102790348A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210103480.5
申请日：2012-04-10
申请人： 中国科学院安徽光学精密机械研究所
IPC分类号： H01S3/10 , G05B19/4063
摘要： 本发明公开了一种高重频ArF准分子激光器脉冲能量控制系统，包括有热释电探测器、运算放大电路、峰值保持电路、主控电路、PI控制算法，主控电路的主控制器为单片机，热释电探测器将光信号转化为电脉冲信号后经运算放大电路进行放大，再经峰值保持电路进行峰值保持跟踪后通过A/D转换模块转化为数字信号后输入单片机，单片机利用PI算法计算出下次脉冲放电所需要的参考电压数字信号后经DA模块转化为模拟量后作用于高重频ArF准分子激光器使用的全固态脉冲电源中的高压直流电源或可控谐振充电模块。本发明提出的PI电压调节算法能够提高控制的精度，降低高重频ArF准分子激光器的运行成本。
-
公开(公告)号：CN102801093B
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201210229966.3
申请日：2012-07-04
申请人： 中国科学院安徽光学精密机械研究所
IPC分类号： H01S3/09
摘要： 本发明公开了一种结构紧凑型kHz准分子激光器全固态脉冲激励源，包括直流电源、升压脉冲变压器、磁脉冲压缩开关电路，激励源温度控制系统、油箱，直流电源与滤波电容并联后经半导体开关IGBT连接在升压脉冲变压器初级线圈两端，升压脉冲变压器的次级线圈接入磁脉冲压缩开关电路，升压脉冲变压器及两级磁脉冲压缩开关集成在高压油箱内。本发明替代传统准分子激光器采用闸流管作为主开关的激励源，解决因闸流管的放电寿命有限、残余振荡、预热启动及其老化过程中的自导通等缺点而影响准分子激光器的整体工作性能的问题，满足准分子激光器高重复频率、长寿命、稳定运行需求。
-
公开(公告)号：CN103023466A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210472342.4
申请日：2012-11-20
申请人： 中国科学院安徽光学精密机械研究所
IPC分类号： H03K17/22
摘要： 本发明公开了一种高重复率磁脉冲压缩网络的磁芯精确复位系统，包括直流开关电源、隔离电感L1、限流电阻、吸收电容、吸收电阻、吸收二极管、隔离电感L2、复位绕组；直流电源经隔离电感L1，限流电阻，与吸收电容并联，然后经过隔离电感L2接入复位绕组，吸收电阻与吸收二极管串联后并联于电容两端，所述的吸收二极管阳极与吸收电阻串联接入直流电源负端；所述的吸收电容低电压端接地，复位绕组单独接入磁开关。本发明适用于采用多级磁脉冲压缩开关的准分子激励电源系统，能很好解决高重复率磁脉冲压缩系统中磁芯快速复位的问题，使磁脉冲压缩系统正常可靠运行。
-
公开(公告)号：CN102914419B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201210361754.0
申请日：2012-09-25
申请人： 中国科学院安徽光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/00
摘要： 本发明公开了两路反馈信号相对时差的精确测量系统，包括两路反馈信号的相对时差信号脉冲获得模块和时间数字转换（TDC）系统，两路反馈信号经过滤波、比较、隔离后，送给相对时差脉冲信号获得模块，得到两路反馈信号的相对时差脉冲信号；然后送给TDC系统，脉冲信号由TDC系统处理后，通过SPI接口与MCU通信，把脉冲信号时差送给MCU，并由数码管显示。本发明能够精确测量出MOPA双腔放电时差，误差控制在1ns内，并把该时差送给同步系统，从而达到调节MOPA双腔同步放电的目的。
-
公开(公告)号：CN102684256B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201210119063.X
申请日：2012-04-21
申请人： 中国科学院安徽光学精密机械研究所
IPC分类号： H02J7/00
摘要： 本发明公开了一种谐振式高精度脉冲充电电源，包括有频率发生器、直流电源、电源储能电容器，采取LC谐振倍压充电的工作方式同时对MO腔和PA腔的充电电容器进行充电，以使双腔具有相同的充电电压，并设计了一条MO腔和PA腔充电电压的泄放回路，以使充电电压微量泄放到精确值。本发明可以同时为双腔准分子激光器的充电电容器同时充电，并且可以高重频充电，充电电压有较高的精度，同时，本发明的脉冲充电频率也是双腔准分子激光器的工作频率，提高了充电电压的精度，减少电路的功率消耗，保证工作时充电电压的稳定。
-
公开(公告)号：CN102790348B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201210103480.5
申请日：2012-04-10
申请人： 中国科学院安徽光学精密机械研究所
IPC分类号： H01S3/10 , G05B19/4063
摘要： 本发明公开了一种高重频ArF准分子激光器脉冲能量控制系统，包括有热释电探测器、运算放大电路、峰值保持电路、主控电路、PI控制算法，主控电路的主控制器为单片机，热释电探测器将光信号转化为电脉冲信号后经运算放大电路进行放大，再经峰值保持电路进行峰值保持跟踪后通过A/D转换模块转化为数字信号后输入单片机，单片机利用PI算法计算出下次脉冲放电所需要的参考电压数字信号后经DA模块转化为模拟量后作用于高重频ArF准分子激光器使用的全固态脉冲电源中的高压直流电源或可控谐振充电模块。本发明提出的PI电压调节算法能够提高控制的精度，降低高重频ArF准分子激光器的运行成本。
-
公开(公告)号：CN103050878B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201210562686.4
申请日：2012-12-22
申请人： 中国科学院安徽光学精密机械研究所
IPC分类号： H01S3/09
摘要： 本发明公开了一种准分子激光器谐振式充电电源的高精度电压控制方法，前端采用谐振充电电源、后端采用磁开关的准分子激光电源中，谐振电容电压经取样、差分放大和与参考电压比较后驱动泄放电路对电容进行泄放的这种实时精确反馈调节方法。参考电压可以通过手动控制或者单片机输出信号控制，可以通过选择不同的电阻来调节控制的速度和精度。本发明是在谐振充电部分进行精确快速控制的方法，谐振电容电压经取样、差分放大和与参考电压比较后驱动泄放电路对电容进行泄放，可以有效的控制准分子激光器最终的放电电压，达到精确控制输出脉冲能量的目的。
-
公开(公告)号：CN102447214B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201110432062.6
申请日：2011-12-21
申请人： 中国科学院安徽光学精密机械研究所
摘要： 本发明公开了一种基于FPGA的准分子激光器全固化电源的同步系统，包括有激光器、光/磁电传感器、信号发生器、核心板、外电路板，采用可编程逻辑器件FPGA实现核心逻辑，提供两路信号的同步控制，信号同步抖动不大于±3.3ns，信号延时时间和MO腔超前PA腔发光时间可以针对不同激光器进行设置。本发明采用核心板和外围电路分立的设计，当其中一者改动/失效，不会影响其余部分的正常使用；本发明采用了隔离设计，保证系统在有强干扰环境下稳定运行；本发明可以使两台准分子激光器同步工作，从而获得可用于集成电路光刻的窄线宽高功率的准分子激光。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
14 条记录 (耗时 0.036 秒)
